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【原创】关于四探针测半导体薄膜电阻率的问题 已有10人参与
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最近需要测一个厚度为200nm的薄膜电阻率，所用仪器为RTS-8型四探针测试仪。由于该仪器测薄层电阻的最后分辨厚度为1um，所以不能直接测量该薄层的电阻率。在网上百度，谷歌了一下，09年有一位lonqiao虫友也遇到和我一样的问题，并在该论坛金属板块求助，结果没有人准确回答该问题。后来我直接电联四探针科技客服，得到答复如下，希望对各位虫友有所帮助： 对于膜厚1um以下的薄膜，先测量薄层的方块电阻，然后再用方块电阻乘以厚度得出电阻率。 |
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