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槟榔OE

新虫 (初入文坛)

[交流] 【原创】关于四探针测半导体薄膜电阻率的问题 已有10人参与

最近需要测一个厚度为200nm的薄膜电阻率,所用仪器为RTS-8型四探针测试仪。由于该仪器测薄层电阻的最后分辨厚度为1um,所以不能直接测量该薄层的电阻率。在网上百度,谷歌了一下,09年有一位lonqiao虫友也遇到和我一样的问题,并在该论坛金属板块求助,结果没有人准确回答该问题。后来我直接电联四探针科技客服,得到答复如下,希望对各位虫友有所帮助:
对于膜厚1um以下的薄膜,先测量薄层的方块电阻,然后再用方块电阻乘以厚度得出电阻率。
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xiehaimei515

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by _强鹏 at 2012-11-18 13:01:11
薄膜的方阻怎么测得,还有现在我测得薄膜是多层的,这样用四探针针法直接测的值是什么值?怎么测每一层的电阻率?求大神指导!

您好,不知道您这个每层电阻率的问题最后怎么解决的
加油
9楼2013-12-27 11:27:25
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zb112358-xxx

金虫 (小有名气)

小木虫


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
受教了,谢谢楼主,我们以后也会用到,目前采购的是台湾德技德仪的设备
尊重科学
2楼2010-10-29 10:57:13
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yn6319

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
[quote]Originally posted by 槟榔OE at 2010-09-07 11:07:24:
最近需要测一个厚度为200nm的薄膜电阻率,所用仪器为RTS-8型四探针测试仪。由于该仪器测薄层电阻的最后分辨厚度为1um,所以不能直接测量该薄层的电阻率。在网上百度,谷歌了一下,09年有一位lonqiao虫友也遇到和我 ... [/quote
请教,怎样测,计算直径修正因子怎么算
3楼2010-12-09 10:23:07
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love5005

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我们刚联系要买一台,看来是不行啦!!!
4楼2011-03-11 10:12:18
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