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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 四探针方法测试薄膜的面电阻问题
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hbf

金虫 (著名写手)

[交流] 四探针方法测试薄膜的面电阻问题

四探针方法测试薄膜的面电阻，4个探针很难保证与薄膜表面有良好的接触，那么，需要在薄膜表面上制备电极么，然后再把探针头放在四个小的电极上，各位大虾在利用四探针测试薄膜的面电阻时，都是如何保证探针和薄膜表面接触性问题的，希望不吝赐教
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1楼 2012-09-16 14:34:05
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酒肉和尚

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by zcq4891 at 2012-11-30 15:55:38
四根探针间距仅仅1mm，要做铟电极之类是不是太难了。有条件的就换一种方法测试，直接做霍尔测试，方便做电极，也准确一些，载流子浓度等等都有了

霍尔效应仪测半导体薄膜的话，也要保证良好的欧姆接触，直接探针接触是不行的，也需要做做电极的。
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12楼2014-04-14 19:50:40
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
hbf(金币+1): 谢谢参与
按照仪器的操作说明，抵消探针与薄膜的接触势垒
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2楼2012-09-16 18:03:27
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yueeryjf

银虫 (小有名气)
★
hbf(金币+1): 谢谢参与
请问你的薄膜是什么材质的？
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3楼2012-09-16 21:45:02
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bqian1

木虫 (著名写手)
★ ★
hbf(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-19 07:54:56
首先要清晰样品，表面没有污垢，然后又几种办法可以参考：一、直接点铟，要求样品相对比较坚固，二、可以用普通银胶，三可以用AB银胶1:1混合，如果烘烤，如果样品小，可以先点金线，再点铜线
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5楼2012-09-17 08:10:24
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