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hbf

金虫 (著名写手)

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[交流] 四探针方法测试薄膜的面电阻问题

四探针方法测试薄膜的面电阻，4个探针很难保证与薄膜表面有良好的接触，那么，需要在薄膜表面上制备电极么，然后再把探针头放在四个小的电极上，各位大虾在利用四探针测试薄膜的面电阻时，都是如何保证探针和薄膜表面接触性问题的，希望不吝赐教

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1楼 2012-09-16 14:34:05

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laserchen

新虫 (初入文坛)

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★
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四探针法测薄膜的电阻无需用电极，直接接触样品即可。实际上，四探针法通常主要用来测电导率比较大的样品，之所以用四探针就是因为薄膜本身电阻小，此方法可以消除探针与薄膜之间的接触电阻，从而测到薄膜真正的电阻率，具体原理请参考任何一本关于四探针方法的书或文献。因此，无需制备电极以减小接触。实际上，如果制备电极就会使接触变为非点接触，从而改变四探针方法所依赖的模型，反而会带来更大的误差。