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bluegenes

银虫 (小有名气)

台阶仪挺方便的

[ 发自小木虫客户端 ]
www.qiushan-tech.com
11楼2013-07-22 08:11:38
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huluhzq

木虫 (正式写手)

测这类薄膜厚度,方法很多了,电镜,台阶仪,椭偏仪还有其他的比如反射测量等。膜厚为5微米,这些都能测,但具体要用哪个要看你对精度的要求了,这里面椭偏仪是精度最高的了,当然价格也就贵一些,如果精度要求不是太高,其他的都可以,只是电镜测量需要抽真空,时间上慢一些,仪器价格也是很昂贵的,介于你的薄膜是透明的,可以考虑用反射测厚系统来测量,时间上快一些,也省去了台阶仪做台阶制样的麻烦,价格也还可以,大概不到10万就ok了!
12楼2013-08-15 11:26:25
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-10 10:52:01
这类仪器有两种,一般比较贵,适合你的好像叫椭圆偏振仪,F20系列的,国内就有卖的,国外大约10万人民币多一点,你在国内买大约不到20万人民币。台阶仪好像也可以,不过就贵了。还有一种仪器更好,不过你没必要用那 ...

请问下台阶仪一般价格多少呢? 谢谢
13楼2015-05-14 15:09:46
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