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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 膜厚度的测量问题
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bluegenes

银虫 (小有名气)
台阶仪挺方便的

[ 发自小木虫客户端 ]
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www.qiushan-tech.com
11楼2013-07-22 08:11:38
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huluhzq

木虫 (正式写手)
测这类薄膜厚度，方法很多了，电镜，台阶仪，椭偏仪还有其他的比如反射测量等。膜厚为5微米，这些都能测，但具体要用哪个要看你对精度的要求了，这里面椭偏仪是精度最高的了，当然价格也就贵一些，如果精度要求不是太高，其他的都可以，只是电镜测量需要抽真空，时间上慢一些，仪器价格也是很昂贵的，介于你的薄膜是透明的，可以考虑用反射测厚系统来测量，时间上快一些，也省去了台阶仪做台阶制样的麻烦，价格也还可以，大概不到10万就ok了！
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12楼2013-08-15 11:26:25
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-10 10:52:01
这类仪器有两种，一般比较贵，适合你的好像叫椭圆偏振仪，F20系列的，国内就有卖的，国外大约10万人民币多一点，你在国内买大约不到20万人民币。台阶仪好像也可以，不过就贵了。还有一种仪器更好，不过你没必要用那 ...

请问下台阶仪一般价格多少呢？ 谢谢
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13楼2015-05-14 15:09:46
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