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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 关于台阶仪测量厚度的问题
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dingyy419

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于台阶仪测量厚度的问题

用磁控溅射方法制备薄膜，先是在硅片上镀Ti，然后在Ti上镀Co，都是10多纳米厚，如果想用台阶仪测量Ti膜和Co膜的厚度，镀膜的时候需要怎么做呢？
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1楼 2013-03-13 14:25:08
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dingyy419

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳 ...

谢谢你的帮助，可是没有带有膜厚监测仪的设备
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5楼2013-03-14 13:52:16
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
dingyy419: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-03-14 13:57:14
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳米的厚度，用台阶仪来测，误差会很大，因为已经接近台阶仪的分辨率的量级了。
建议找一个溅射设备上安装有膜厚监测仪的设备。膜厚监测仪用晶体振荡频率作为传感信号，灵敏度很高，理论上可达“埃”的量级。另外还是原位监测，更方便。
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2楼2013-03-13 19:48:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时，样品旁边放一陪片，遮住一部分，这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶，用台阶仪测出台阶的高度，就是膜的厚度。注意：遮盖物应尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，便于测量。
不过，对于10纳 ...

楼上基本正解。最好是有光学轮廓仪之类可以测台阶的，方便，准确。
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3楼2013-03-13 19:58:11
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guoguixin1

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先在硅片上甩上光刻胶，然后镀膜，之后将胶剥下就可以测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-03-14 06:10:51
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