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dingyy419

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于台阶仪测量厚度的问题

用磁控溅射方法制备薄膜,先是在硅片上镀Ti,然后在Ti上镀Co,都是10多纳米厚,如果想用台阶仪测量Ti膜和Co膜的厚度,镀膜的时候需要怎么做呢?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时,样品旁边放一陪片,遮住一部分,这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶,用台阶仪测出台阶的高度,就是膜的厚度。注意:遮盖物应尽量薄,边缘应整齐,这样产生的台阶才会陡峭,便于测量。
不过,对于10纳 ...

楼上基本正解。最好是有光学轮廓仪之类可以测台阶的,方便,准确。
3楼2013-03-13 19:58:11
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
dingyy419: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-03-14 13:57:14
放基片时,样品旁边放一陪片,遮住一部分,这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶,用台阶仪测出台阶的高度,就是膜的厚度。注意:遮盖物应尽量薄,边缘应整齐,这样产生的台阶才会陡峭,便于测量。
不过,对于10纳米的厚度,用台阶仪来测,误差会很大,因为已经接近台阶仪的分辨率的量级了。
建议找一个溅射设备上安装有膜厚监测仪的设备。膜厚监测仪用晶体振荡频率作为传感信号,灵敏度很高,理论上可达“埃”的量级。另外还是原位监测,更方便。
2楼2013-03-13 19:48:21
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guoguixin1

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先在硅片上甩上光刻胶,然后镀膜,之后将胶剥下就可以测

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-03-14 06:10:51
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dingyy419

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-13 19:48:21
放基片时,样品旁边放一陪片,遮住一部分,这样镀膜后去掉遮盖物就会出现一个台阶,用台阶仪测出台阶的高度,就是膜的厚度。注意:遮盖物应尽量薄,边缘应整齐,这样产生的台阶才会陡峭,便于测量。
不过,对于10纳 ...

谢谢你的帮助,可是没有带有膜厚监测仪的设备
5楼2013-03-14 13:52:16
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