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维尼熊欢仔木虫 (小有名气)
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[求助]
硅片表面的超薄膜怎么表征？
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我在硅片表面涂了一层纳米级或者微米级的膜，想对其进行详细的表征，但是很多测试都做不了啊？请大家给出出主意，都有哪些测试可以表征清楚这个 谢谢 |
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5楼2013-06-14 19:03:07
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2楼2013-06-14 17:23:54
gcgwj2003
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维尼熊欢仔: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-06-15 08:45:39
| 最简单的就用X-射线，还可以用透射电镜（分别做平面和界面观察晶粒），扫描电镜，原子力/磁力显微镜（观察表面形貌），xps（价态分析），原子探针，EDS（元素和成分分析）。当然还可以做纳米压痕研究力学性能，也可能做拉曼光谱进行化学键分析。DSC/DTA也可考虑，观察转变温度。做磁性能分析，可以采用VSM，SQUID，PPMS等。不知楼主做什么研究，方向不同，工具不同。 |
3楼2013-06-14 18:07:34
zhenwuhuang
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|
顶一下，不知道能不能有点帮助。 水热条件下SiO2超疏水复合薄膜的制备和表征 http://www.doc88.com/p-8939990386600.html |
4楼2013-06-14 18:33:30
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