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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于旋涂的溶液浓度及转速时间等问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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至少还有你

银虫 (小有名气)

[求助] 关于旋涂的溶液浓度及转速时间等问题

本人现在需要在硅片上旋涂上一层有机层，我试过溶液浓度为10mM，转速也比较快，后来发现好像没有旋涂上去，请问各位大神是不是需要把溶液的浓度调大一些，转速及低速高速的时间有没有什么技巧呢？？？
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1楼 2011-12-25 15:33:56
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
★ ★
金光闪闪2010(金币+2): Thank you for you adivice 2011-12-30 13:16:24
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至少还有你
5楼2011-12-28 20:05:10
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
★
金光闪闪2010(金币+1): Thank you for you adivice 2011-12-30 13:16:35
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至少还有你
8楼2011-12-29 22:03:32
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linjx404

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我旋涂也有过这种问题，旋涂完分散不好，聚成一小块，一小块的，甚至根本没有。或者呢，就是旋涂完挺均匀的（对着光可以看到），但是过一段时间后有收缩成一小粒一小粒的形态。
后来通过处理基底能改善些，就是分别丙酮，去离子水，无水乙醇超声30min，特别是丙酮一定要时间长一些。还有就是洗完后一定要晾干了，多放会，不要立刻就用。
另外要说明一点是我的是玻璃基底不知道和你的硅基底区别大不大，是不是同样地问题，能不能用同样地方法解决。
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至少还有你
10楼2011-12-30 15:59:42
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普通回帖

匿名

用户注销 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
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2楼2011-12-25 17:22:06
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
至少还有你(金币+5): ★有帮助 谢谢哦，我再试试 2011-12-26 10:23:31
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3楼2011-12-25 17:32:07
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至少还有你

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2011-12-25 17:32:07:
不知道你的“转速比较快”到底有多快。最好写详细一点，溶质，溶剂，转速，时间。
另外你确定没旋上？一般如果膜层厚度太薄（比如低于30 nm）可能会肉眼看不见，你试试用刀片或尖锐的物体在表面划一下看有没有划 ...

我刚刚去看了，低速是460r/min，高速是1460r/min。溶液是某有机物的乙醇溶液，浓度是10mMOL/L，时间是低速9S，高速20S，请问这个的情况是不是不容易旋涂上去。这次却是是没旋涂上去，我们去看了SEM的
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4楼2011-12-26 16:07:56
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
把液体调稠一点，同时转速慢点，可以适当延长时间。
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麦麦爸爸爱小牛
6楼2011-12-28 20:39:10
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至少还有你

银虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2011-12-28 20:05:10:
凭我的经验，乙醇在硅片表面浸润性非常好，不至于一点都旋不上，你的硅片处理过没？最好用煮过的硅片做；有机物溶液我没做过，我用的都是高聚物溶液，浓度都在10~30mg/mlL,凭感觉10mM可能稍微稀了点，可以加大浓 ...

直接滴在硅片上试过，但是这样滴上去之后就是由于那些啥表面啥应力之类的，溶液都会聚集在一小块地方，这样出来的膜就不均匀，所以我们才说要用旋涂
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7楼2011-12-29 14:57:44
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至少还有你

银虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2011-12-29 22:03:32:
如果你说乙醇在硅片表面都会聚集在一小块地方，那肯定是硅片亲水程度不够，好好做一下亲水处理，处理好的硅片滴一小滴乙醇就会迅速的铺展到整个表面；实在要用旋涂的话一定首先保证乙醇完全铺满到整个表面，没有 ...

如果直接用乙醇溶液就不用做亲水处理了嘛，我把乙醇溶液滴在硅片上，开始的时候是会迅速铺展开来，但是最后其他地方都干了，就是还会有那么一块地方不会干。亲水处理之后用水溶液也会有这样的情况的
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9楼2011-12-30 11:32:41
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