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关于旋涂的溶液浓度及转速时间等问题
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| 本人现在需要在硅片上旋涂上一层有机层，我试过溶液浓度为10mM，转速也比较快，后来发现好像没有旋涂上去，请问各位大神是不是需要把溶液的浓度调大一些，转速及低速高速的时间有没有什么技巧呢？？？ |
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8楼2011-12-29 22:03:32
linjx404
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2楼2011-12-25 17:22:06
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