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至少还有你

银虫 (小有名气)

[求助] 关于旋涂的溶液浓度及转速时间等问题

本人现在需要在硅片上旋涂上一层有机层,我试过溶液浓度为10mM,转速也比较快,后来发现好像没有旋涂上去,请问各位大神是不是需要把溶液的浓度调大一些,转速及低速高速的时间有没有什么技巧呢???
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至少还有你

银虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by 西塔小西西 at 2011-12-28 20:05:10:
凭我的经验,乙醇在硅片表面浸润性非常好,不至于一点都旋不上,你的硅片处理过没?最好用煮过的硅片做;有机物溶液我没做过,我用的都是高聚物溶液,浓度都在10~30mg/mlL,凭感觉10mM可能稍微稀了点,可以加大浓 ...

直接滴在硅片上试过,但是这样滴上去之后就是由于那些啥表面啥应力之类的,溶液都会聚集在一小块地方,这样出来的膜就不均匀,所以我们才说要用旋涂
7楼2011-12-29 14:57:44
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匿名

用户注销 (著名写手)

感谢参与,应助指数 +1
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2楼2011-12-25 17:22:06
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
至少还有你(金币+5): 有帮助 谢谢哦,我再试试 2011-12-26 10:23:31
本帖内容被屏蔽

3楼2011-12-25 17:32:07
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至少还有你

银虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by 西塔小西西 at 2011-12-25 17:32:07:
不知道你的“转速比较快”到底有多快。最好写详细一点,溶质,溶剂,转速,时间。
另外你确定没旋上?一般如果膜层厚度太薄(比如低于30 nm)可能会肉眼看不见,你试试用刀片或尖锐的物体在表面划一下看有没有划 ...

我刚刚去看了,低速是460r/min,高速是1460r/min。溶液是某有机物的乙醇溶液,浓度是10mMOL/L,时间是低速9S,高速20S,请问这个的情况是不是不容易旋涂上去。这次却是是没旋涂上去,我们去看了SEM的
4楼2011-12-26 16:07:56
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