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求问如何设置旋涂浓度和转速？？
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我现在用四氢呋喃做溶剂旋涂一份有机小分子混合物，旋涂溶液浓度为40 wt%，低速500 rps先旋6 s，随后是2000 rps 旋30 s，但是现在旋出来的薄膜不均匀，中间厚，四周薄，同时具有从中心向四周发散的线条（见图）。请问该如何解决？？如何调节旋涂的参数，从而使得薄膜更加均匀？？现在四周的厚度达到了我的要求，而中间部分太厚了 D3-3 聚合前！.jpg [ Last edited by cg_sdly on 2013-4-20 at 08:20 ] |
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