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wangzi226

禁虫 (小有名气)
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1楼 2012-04-23 17:00:49
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wangzi226: 金币+5, ★★★很有帮助, 非常感谢 2012-04-25 14:50:36
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-05-31 20:55:00
原因可能有：
（1）铝膜表面不干净。试试丙酮清洗，你这个还不能用piranha，会把铝腐蚀掉；
（2）表面有水气。做SU8前150C把衬底烤半小时；
（3）SU8的baking条件不合适，产生比较大的热应力从而影响黏附性。升温降温的时候尽量给一定时间。
最后，你试试那个SU8的adhension promoter，或许会有帮助。
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我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
2楼2012-04-24 08:51:39
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haerbin06

铜虫 (小有名气)
hmds 不行吗,,,,,,,,,,,,,,,,,,
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我很好
3楼2012-05-31 20:26:50
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2012-09-16 17:50:48
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wzz881010

铁杆木虫 (正式写手)
l楼主 你用电子束蒸Al，用的是什么坩埚，用不用坩埚套
最近我用Cu和石墨坩埚套都出了问题，坩埚裂了 想求教下
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努力，奋斗，坚持
5楼2012-11-12 21:04:53
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