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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 实验技术 » 旋涂法做膜，膜开裂的原因是什么，可以用什么调节消除
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sleep桉

新虫 (初入文坛)

[求助] 旋涂法做膜，膜开裂的原因是什么，可以用什么调节消除

我旋的膜在300摄氏度烘干后会出现很多开裂的点，如图，用的溶剂主要是乙醇，乙二醇和丙二醇，是不是粘度还是表面张力哪里需要再调节一下，请高手指点，还需要加点什么溶剂调节一下，谢谢

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1楼2012-11-22 23:28:51
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ottotxw

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
地狱血幽灵: 金币+1, 欢迎常来 2012-11-23 10:28:05
你使用的是较高粘稠度和收缩性的溶剂，可能导致薄膜厚度比较厚，烘干过程中产生的应力大，以裂纹的方式释放。
一点小建议：是否可以减少或更换乙二醇和丙二醇，具体什么试剂需要根据具体的材料而定；提高旋涂环境温度，减缓解膜的收缩。另外，如果你还要退火处理这裂纹不太影响。
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2楼2012-11-23 08:19:51
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sleep桉

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ottotxw at 2012-11-23 08:19:51
你使用的是较高粘稠度和收缩性的溶剂，可能导致薄膜厚度比较厚，烘干过程中产生的应力大，以裂纹的方式释放。
一点小建议：是否可以减少或更换乙二醇和丙二醇，具体什么试剂需要根据具体的材料而定；提高旋涂环境温 ...

非常感谢
我这膜旋出来以后每层都很薄，旋十几层也只有1.几个微米，而且随着烘的时间加长开裂愈加明显。我在想会不会是由于固溶度太低的原因，加大溶解物质的量会不会有帮助呢？
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3楼2012-11-26 09:45:39
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ottotxw

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
fds329: 金币+1, 感谢应助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-12-04 10:10:47
1个微米的厚度，已经比较厚了。并且烘烤时间长，开裂越明显，这说明主要的问题就是由于薄膜厚度太厚，
加上膜与衬底之间的热膨胀失配，烘烤时薄膜内应力大，最终导致开裂。
另，如果增加溶解物质量，则会导致单次旋涂薄膜的厚度增加，总膜厚增加，裂纹应该会更明显。
所以，个人感觉应该尝试降低胶体浓度，且烘烤温度的升温速率应该尽量慢。
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4楼2012-11-26 13:08:52
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