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sleep桉

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[求助] 旋涂法做膜,膜开裂的原因是什么,可以用什么调节消除

我旋的膜在300摄氏度烘干后会出现很多开裂的点,如图,用的溶剂主要是乙醇,乙二醇和丙二醇,是不是粘度还是表面张力哪里需要再调节一下,请高手指点,还需要加点什么溶剂调节一下,谢谢

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ottotxw

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
地狱血幽灵: 金币+1, 欢迎常来 2012-11-23 10:28:05
你使用的是较高粘稠度和收缩性的溶剂,可能导致薄膜厚度比较厚,烘干过程中产生的应力大,以裂纹的方式释放。
一点小建议:是否可以减少或更换乙二醇和丙二醇,具体什么试剂需要根据具体的材料而定;提高旋涂环境温度,减缓解膜的收缩。另外,如果你还要退火处理这裂纹不太影响。
2楼2012-11-23 08:19:51
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sleep桉

捐助贵宾 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ottotxw at 2012-11-23 08:19:51
你使用的是较高粘稠度和收缩性的溶剂,可能导致薄膜厚度比较厚,烘干过程中产生的应力大,以裂纹的方式释放。
一点小建议:是否可以减少或更换乙二醇和丙二醇,具体什么试剂需要根据具体的材料而定;提高旋涂环境温 ...

非常感谢
我这膜旋出来以后每层都很薄,旋十几层也只有1.几个微米,而且随着烘的时间加长开裂愈加明显。我在想会不会是由于固溶度太低的原因,加大溶解物质的量会不会有帮助呢?
3楼2012-11-26 09:45:39
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ottotxw

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


fds329: 金币+1, 感谢应助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-12-04 10:10:47
1个微米的厚度,已经比较厚了。并且烘烤时间长,开裂越明显,这说明主要的问题就是由于薄膜厚度太厚,
加上膜与衬底之间的热膨胀失配,烘烤时薄膜内应力大,最终导致开裂。
另,如果增加溶解物质量,则会导致单次旋涂薄膜的厚度增加,总膜厚增加,裂纹应该会更明显。
所以,个人感觉应该尝试降低胶体浓度,且烘烤温度的升温速率应该尽量慢。
4楼2012-11-26 13:08:52
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