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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 纳米器件为什么要选用硅片作为基底?

最近在学习纳米器件制备方面的内容,没有实际做过器件。
感到迷惑的是,为什么纳米器件都要在硅片上制作呢。就比如很简单纳米线两电极器件,也是要把纳米线转移到硅片上然后制备。

在这种情况下,为什么要选用硅片为基底呢?可不可以用便宜的玻璃或者高分子呢?还是因为光刻、蒸镀过程的工艺限制呢?

希望有经验的人帮忙解答,先谢谢啦。讨论越详细越好,可以追加悬赏。
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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changge87: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢~ 2013-06-21 13:05:43
据我所知不是“都要在硅片上制作”吧  具体看你制作什么器件  另外Si衬底是最常见的衬底材料  有很多优点: 廉价、易于实现腐蚀、导电导热性能好、可实现大尺寸等  而且Si基集成电路技术已经成熟 在Si衬底上制作器件自然有得天独厚的优越性
Youjustfocus
2楼2013-06-20 17:08:47
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普通回帖

jwucn

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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changge87: 金币+3, 有帮助, 谢谢~ 2013-06-21 13:06:53
也不完全是这样, 主要的原因是做薄膜的常为半导体器件, 而Si片有很多优点, 比如:晶格匹配, 稳定.............
3楼2013-06-20 17:47:04
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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changge87: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢~ 2013-06-21 13:07:26
微电子器件硅片基底太经典了...好多的专门设备都是对硅片定制的,而且表面清洁度也是相当有保障
4楼2013-06-20 21:46:54
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-06-20 21:46:54
微电子器件硅片基底太经典了...好多的专门设备都是对硅片定制的,而且表面清洁度也是相当有保障

那是不是用其他基底,比如高分子基底不容易做呀?
是不是光刻或者蒸镀电极时有什么特殊要求呢?
我不是很了解。。。
5楼2013-06-21 13:08:30
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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changge87: 金币+2, 有帮助 2013-06-22 15:57:30
太多的集成电路和MEMS器件都是用Si来做,所以大家都习惯性的选择了Si衬底。
其实用啥衬底都行
6楼2013-06-21 13:21:34
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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changge87: 金币+14, ★★★★★最佳答案, 5 2013-06-22 15:58:11
Si衬底比较常见,其相关工艺也很成熟了,我们老师说,之所以选择Si,一方面是地球上含量高,另一方面Si的氧化物比较容易获得,因此Si成为当今集成电路与MEMS工艺中最常见的衬底。
其他衬底也可以,我就看过有用塑料衬底代替Si的,不过我觉得用了玻璃,高分子这样的衬底,要多考虑工艺中温度等因素对它们的影响,毕竟Si耐高温特性还是挺好的
7楼2013-06-21 13:58:07
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
5楼: Originally posted by changge87 at 2013-06-21 13:08:30
那是不是用其他基底,比如高分子基底不容易做呀?
是不是光刻或者蒸镀电极时有什么特殊要求呢?
我不是很了解。。。...

我们这边光刻都是按样品洁净度分类仪器的,只有新鲜硅片是最清洁的,其他的玻璃啥的都算非标准基底,要清洗啥的都非常麻烦的
8楼2013-06-21 14:12:57
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖


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changge87: 金币+1, 谢谢~ 2013-06-22 15:57:55
一般来说,做TFT,FET,选择Si基底比较多,因为Si掺杂后,导电性较好,也可以在其它基底上沉积有机,也可以制备类似器件,现在有很多组在做
我~心~依~旧
9楼2013-06-22 09:38:57
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underdog-82

铁虫 (小有名气)

硅片容易买到 硅工艺成熟 硅片表面光滑

   其实用碳化硅 蓝宝石 石英片什么的 都可以 俺就经常换substrate


  

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10楼2013-06-22 21:22:54
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