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changge87铁杆木虫 (正式写手)
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纳米器件为什么要选用硅片作为基底？
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最近在学习纳米器件制备方面的内容，没有实际做过器件。 感到迷惑的是，为什么纳米器件都要在硅片上制作呢。就比如很简单纳米线两电极器件，也是要把纳米线转移到硅片上然后制备。 在这种情况下，为什么要选用硅片为基底呢？可不可以用便宜的玻璃或者高分子呢？还是因为光刻、蒸镀过程的工艺限制呢？ 希望有经验的人帮忙解答，先谢谢啦。讨论越详细越好，可以追加悬赏。 |
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3楼2013-06-20 17:47:04
幸福少爷
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4楼2013-06-20 21:46:54
changge87
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5楼2013-06-21 13:08:30
