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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 纳米器件为什么要选用硅片作为基底？
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 纳米器件为什么要选用硅片作为基底？

最近在学习纳米器件制备方面的内容，没有实际做过器件。
感到迷惑的是，为什么纳米器件都要在硅片上制作呢。就比如很简单纳米线两电极器件，也是要把纳米线转移到硅片上然后制备。

在这种情况下，为什么要选用硅片为基底呢？可不可以用便宜的玻璃或者高分子呢？还是因为光刻、蒸镀过程的工艺限制呢？

希望有经验的人帮忙解答，先谢谢啦。讨论越详细越好，可以追加悬赏。
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1楼 2013-06-20 10:15:43
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jwucn

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
changge87: 金币+3, ★有帮助, 谢谢~ 2013-06-21 13:06:53
也不完全是这样, 主要的原因是做薄膜的常为半导体器件, 而Si片有很多优点， 比如：晶格匹配， 稳定.............
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3楼2013-06-20 17:47:04
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
changge87: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢~ 2013-06-21 13:05:43
据我所知不是“都要在硅片上制作”吧  具体看你制作什么器件  另外Si衬底是最常见的衬底材料  有很多优点: 廉价、易于实现腐蚀、导电导热性能好、可实现大尺寸等  而且Si基集成电路技术已经成熟 在Si衬底上制作器件自然有得天独厚的优越性
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Youjustfocus
2楼2013-06-20 17:08:47
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
changge87: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢~ 2013-06-21 13:07:26
微电子器件硅片基底太经典了...好多的专门设备都是对硅片定制的,而且表面清洁度也是相当有保障
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4楼2013-06-20 21:46:54
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-06-20 21:46:54
微电子器件硅片基底太经典了...好多的专门设备都是对硅片定制的,而且表面清洁度也是相当有保障

那是不是用其他基底，比如高分子基底不容易做呀？
是不是光刻或者蒸镀电极时有什么特殊要求呢？
我不是很了解。。。
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5楼2013-06-21 13:08:30
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