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heavence007

荣誉版主 (小有名气)

小木虫中国区总代理

[交流] 【求助】求助：要做AFM前硅片怎么处理和旋涂？ 已有10人参与

最近准备做AFM，样品需要旋涂在硅片上，硅片需要预处理一下，不知道怎么处理，求助一下各位！
还有我需要用的硅片应该是怎样的？只是用来做衬底的。今天问了下有很多种价格，都说很平整，但是为什么价格差那么多呢？

[ Last edited by heavence007 on 2009-9-16 at 19:03 ]
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1楼 2009-09-16 18:47:11
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

plum8736

铁杆木虫 (职业作家)

快乐家族--科比的偶像
引用回帖:
Originally posted by heavence007 at 2009-09-16 18:47:11:
最近准备做AFM，样品需要旋涂在硅片上，硅片需要预处理一下，不知道怎么处理，求助一下各位！
还有我需要用的硅片应该是怎样的？只是用来做衬底的。今天问了下有很多种价格，都说很平整，但是为什么价格差那么多 ...

RCA标准清洗法是1965年由Kern和Puotinen 等人在N.J.Princeton的RCA实验室首创的，并由此而得名。RCA是一种典型的、至今仍为最普遍使用的湿式化学清洗法，该清洗法主要包括以下几种清洗液。
（1）SPM：H2SO4 /H2O2 120～150℃ SPM具有很高的氧化能力，可将金属氧化后溶于清洗液中，并能把有机物氧化生成CO 2和H2O。用SPM清洗硅片可去除硅片表面的重有机沾污和部分金属，但是当有机物沾污特别严重时会使有机物碳化而难以去除。
（2）HF(DHF)：HF(DHF) 20～25℃ DHF可以去除硅片表面的自然氧化膜，因此，附着在自然氧化膜上的金属将被溶解到清洗液中，同时DHF抑制了氧化膜的形成。因此可以很容易地去除硅片表面的Al，Fe，Zn，Ni等金属，DHF也可以去除附着在自然氧化膜上的金属氢氧化物。用DHF清洗时，在自然氧化膜被腐蚀掉时，硅片表面的硅几乎不被腐蚀。
（3）APM (SC-1）：NH4OH/H2O2 /H2O 30～80℃ 由于H2O2的作用，硅片表面有一层自然氧化膜(SiO2)，呈亲水性，硅片表面和粒子之间可被清洗液浸透。由于硅片表面的自然氧化层与硅片表面的Si被NH 4OH腐蚀，因此附着在硅片表面的颗粒便落入清洗液中，从而达到去除粒子的目的。在 NH4OH腐蚀硅片表面的同时，H2O 2又在氧化硅片表面形成新的氧化膜。
（4）HPM (SC-2)：HCl/H2O2/H2 O 65～85℃ 用于去除硅片表面的钠、铁、镁等金属沾污。在室温下HPM就能除去Fe和Zn。
清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有机沾污，因为有机物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷阱”，也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化

我们都是用浓硫酸双氧水７：３沸水浴３０分钟
H2O2/H2SO4(3:7)超声20分钟，超纯水洗，N2吹干
H2O2/H2SO4=3:7在90摄氏度煮一小时，冷却后用水超声清洗三遍，氮气吹干就可以，处理后的表面是羟基化的表面
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20楼2010-05-03 18:38:09
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普通回帖

xys572

金虫 (小有名气)
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
帮顶 搭车同问
最近也准备开展相关工作 楼主有消息回个信啊
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2楼2009-09-16 19:06:10
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骑着蜗牛追火箭

木虫 (著名写手)

纳米小生
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
我用的云母片，在胶带上粘住以后撕一层下来，就是个绝对平面了。
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3楼2009-09-16 19:07:44
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johnson_g

铜虫 (正式写手)
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
高纯硅片吧，大约200元，用前用乙醇超声清洗就可以了
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守得云开见月明
4楼2009-09-17 15:16:02
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zhongze

金虫 (正式写手)
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by 骑着蜗牛追火箭 at 2009-9-16 19:07:
我用的云母片，在胶带上粘住以后撕一层下来，就是个绝对平面了。

云母片哪里买的？我也想买一点呢，谢谢！
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万重楼外别样风景天！
5楼2009-09-17 22:12:20
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heavence007

荣誉版主 (小有名气)

小木虫中国区总代理
云母片跟硅片在做AFM时有什么区别呢？
我问的硅片有很多价格，贵的几百块，便宜的几十块，怎么区别好坏呢？
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6楼2009-09-17 22:32:54
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sushang

铁杆木虫 (著名写手)
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
平??
在胶带上粘住以后撕一层下来
就OK了
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7楼2009-09-17 22:53:56
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yccycc

木虫 (著名写手)
★ ★
heavence007(金币+1):谢谢参与
heavence007(金币+1,VIP+0):谢谢回复，请问我的材料选择substrate应该怎么选呢？有没有什么参考标准？ 9-19 00:33
做AFM用什么substrate都没有关系
有关系的是你的材料应该选用什么substrate
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8楼2009-09-18 01:20:41
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kqibebt

金虫 (正式写手)
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
楼上正解。
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9楼2009-09-18 07:37:41
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peng87296325

银虫 (小有名气)
★
heavence007(金币+1):谢谢参与
我用的是1/3 H2O2 与2/3H2SO4 110度 30min
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10楼2009-12-08 04:40:16
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