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lzb7758520铁杆木虫 (著名写手)
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【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？ 已有12人参与
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我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。 不知谁有相关的文献提供下。 [ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ] |
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12楼2011-03-25 23:23:46
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（100）/（111）的刻蚀选择比非常大，因此随着时间的延长几乎不会有什么变化，如果需要变粗糙，需要加电场，具体可以查阅相关资料或者给我E-mail，我做过这方面工作，了解一些。 wanglurong1985@yahoo.com.cn |
16楼2011-06-13 17:18:35
cyjpu
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2楼2011-03-16 16:26:26
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