| 查看: 3667 | 回复: 16 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
lzb7758520铁杆木虫 (著名写手)
|
[交流]
【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？ 已有12人参与
|
||
|
我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。 不知谁有相关的文献提供下。 [ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ] |
回复此楼
wanglurong1985
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1421
- 散金: 1
- 帖子: 758
- 在线: 74.5小时
- 虫号: 476439
- 注册: 2007-12-11
- 专业: 半导体
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
|
（100）/（111）的刻蚀选择比非常大，因此随着时间的延长几乎不会有什么变化，如果需要变粗糙，需要加电场，具体可以查阅相关资料或者给我E-mail，我做过这方面工作，了解一些。 wanglurong1985@yahoo.com.cn |
16楼2011-06-13 17:18:35
cyjpu
银虫 (正式写手)
- 应助: 17 (小学生)
- 金币: 6427.4
- 散金: 7
- 红花: 9
- 帖子: 992
- 在线: 363.7小时
- 虫号: 544556
- 注册: 2008-04-12
- 专业: 其他无机非金属材料
2楼2011-03-16 16:26:26
lzb7758520
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 55 (初中生)
- 金币: 6616.9
- 散金: 5481
- 红花: 15
- 帖子: 2457
- 在线: 933小时
- 虫号: 386271
- 注册: 2007-05-29
- 性别: GG
- 专业: 无机合成和制备化学
3楼2011-03-16 20:14:58
vmuch520
至尊木虫 (文坛精英)
- MN-EPI: 1
- 应助: 565 (博士)
- 贵宾: 0.161
- 金币: 23773.3
- 散金: 4752
- 红花: 135
- 帖子: 16281
- 在线: 6110.3小时
- 虫号: 341865
- 注册: 2007-04-08
- 专业: 生物材料
4楼2011-03-17 09:29:47
30
