应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
171/2返回列表12下一页
查看: 3293  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？ 已有12人参与

我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
梦想不能当饭吃啊
1楼 2011-03-16 14:09:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

lasyia

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by cyjpu at 2011-03-16 16:26:26:
跟你用的什么抛光片也有关系，（111）面和（100）面的腐蚀速率肯定也是不一样的。

刚入门  弱弱的问一句 111面和100面 有什么区别？
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2011-03-17 10:59:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
★
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:55:02
引用回帖:
Originally posted by vmuch520 at 2011-03-17 09:29:47:
10%？太浓了吧？

他们去氧化层是用的2.5%，所谓的增加粗糙度是用的20%
赞一下(2人) 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
6楼2011-03-17 13:58:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yxznjust

禁虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 2011-04-10 19:26:11
本帖内容被屏蔽
12楼2011-03-25 23:23:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanglurong1985

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
（100）/（111）的刻蚀选择比非常大，因此随着时间的延长几乎不会有什么变化，如果需要变粗糙，需要加电场，具体可以查阅相关资料或者给我E-mail，我做过这方面工作，了解一些。

wanglurong1985@yahoo.com.cn
赞一下(2人) 回复此楼
16楼2011-06-13 17:18:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

cyjpu

银虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:54:49
跟你用的什么抛光片也有关系，（111）面和（100）面的腐蚀速率肯定也是不一样的。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-03-16 16:26:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by cyjpu at 2011-03-16 16:26:26:
跟你用的什么抛光片也有关系，（111）面和（100）面的腐蚀速率肯定也是不一样的。

我用的是p（100）面的，氢氟酸腐蚀能不能使粗糙度加大呢？
赞一下 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
3楼2011-03-16 20:14:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
Originally posted by lzb7758520 at 2011-03-16 14:09:37:
我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last  ...

10%？太浓了吧？
赞一下 回复此楼
4楼2011-03-17 09:29:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guangyuan89

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:55:10
兄弟可以在豆瓣上面找一下关于硅片制绒的文件
赞一下(2人) 回复此楼
这年头做人不容易啊
7楼2011-03-17 14:07:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

南通王

木虫 (正式写手)

我理解应该是使得表面平滑

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:55:26
貌似一般让硅表面平滑是用氢氟酸，因为能使得表面氢化或者说钝化，去除表面的二氧化硅。如果要使得表面粗糙，可以让溶液发生氧化还原反应或者电化学方法。
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2011-03-17 21:52:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bearvsnike

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by lasyia at 2011-03-17 10:59:31:
刚入门  弱弱的问一句 111面和100面 有什么区别？


美女~
生长面不一样。。帮你顶一下
赞一下(1人) 回复此楼
此人比较懒！
9楼2011-03-18 00:41:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by guangyuan89 at 2011-03-17 14:07:05:
兄弟可以在豆瓣上面找一下关于硅片制绒的文件

正解，谢谢啊！高手呵呵
赞一下 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
10楼2011-03-24 10:27:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lzb7758520 的主题更新
171/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 302分 085601求调剂推荐 +8 zyx上岸！ 2026-04-05 8/400 2026-04-05 12:21 by 无际的草原
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ，080500材料科学与工程学硕 +8 @taotao 2026-03-30 8/400 2026-04-05 11:15 by 风雨无晴
[考研] 化学357分，考研调剂 +10 .Starry. 2026-04-04 11/550 2026-04-05 10:57 by cql1109
[考研] 307分材料专业求调剂 +4 Hll胡 2026-04-05 4/200 2026-04-05 10:45 by jp9609
[考研] 考研调剂 +6 15615482637 2026-04-04 6/300 2026-04-04 22:43 by yu221
[考研] 考研调剂 +5 四川王涛 2026-04-04 5/250 2026-04-04 22:18 by 啵啵啵0119
[考研] 0835学硕299求调剂 08大类可接受 +5 useryy 2026-04-03 5/250 2026-04-04 20:07 by 蓝云思雨
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +5 崔wj 2026-03-31 5/250 2026-04-04 19:45 by 1753564080
[考研] 305求调剂 +3 77Qi 2026-04-03 3/150 2026-04-03 23:01 by qzxyhcsy
[考研] 材料科学与工程339求调剂 +12 hyz0119 2026-03-31 13/650 2026-04-03 18:33 by ls刘帅
[考研] 求调剂 +8 akdhjs 2026-04-03 8/400 2026-04-03 18:17 by 戴维ING
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +5 崔wj 2026-04-03 5/250 2026-04-03 15:06 by arrow8852
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +6 崔wj 2026-04-02 6/300 2026-04-03 10:19 by 蓝云思雨
[考研] 330求调剂 +3 白神呜呼呼 2026-04-02 3/150 2026-04-03 10:15 by 蓝云思雨
[考研] 专硕 351 086100 也是考的材科基 本科也是材料 +8 202451007219 2026-04-02 8/400 2026-04-03 09:50 by 蓝云思雨
[考研] 农学考研求调剂 +3 dkdkxm 2026-04-01 3/150 2026-04-02 16:04 by wangjagri
[考研] 290求调剂 +5 dfffsar 2026-03-29 5/250 2026-04-01 19:45 by 6781022
[考研] 省双一流重点一本大学招收调剂 +4 wwwwffffff 2026-03-31 7/350 2026-04-01 15:23 by wwwwffffff
[考研] 254材料与化工求调剂 +3 翰冬林楠 2026-03-30 4/200 2026-03-31 17:53 by yishunmin
[考研] 福建理工大学材料学院先进合金团队招收考研调剂学生 +3 大华金商都 2026-03-30 4/200 2026-03-31 01:04 by 方英俊602
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭