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lzb7758520铁杆木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？ 已有12人参与
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我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。 不知谁有相关的文献提供下。 [ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ] |
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5楼2011-03-17 10:59:31
cyjpu
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2楼2011-03-16 16:26:26
lzb7758520
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3楼2011-03-16 20:14:58
vmuch520
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4楼2011-03-17 09:29:47