应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
121/2返回列表12下一页
查看: 4277  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

421268680

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救

我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液  以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突，可用硝酸一洗和没刻一样，各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-12-18 21:10:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangjwxjtu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我原来也做过类似的工作，关键在于溶液的配比、温度，及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer？电导率是多少？
赞一下 回复此楼
2楼2011-12-19 08:30:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangguang53

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是硅片变了？
赞一下 回复此楼
3楼2011-12-19 08:31:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

421268680

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangjwxjtu at 2011-12-19 08:30:36:
我原来也做过类似的工作，关键在于溶液的配比、温度，及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer？电导率是多少？

我用的N型的 以前做实验的条件都是一样的 可不知道为什么最近老是失败
赞一下 回复此楼
4楼2011-12-19 11:04:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

421268680

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-19 08:31:44:
是不是硅片变了？

应该不会把 我是新买的硅片
赞一下 回复此楼
5楼2011-12-19 11:04:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你为什么要用硝酸去洗呢？最后的生成物中有什么？你通过显微镜观察过嘛？你考虑一下反应的过程，每一步都很关键，反应物和产物都要搞清楚，反应条件如温度、溶液浓度等也要注意。我没有做过相关的实验，但我做过别的湿法腐蚀，所以不敢在此造次妄言。
赞一下 回复此楼
梅花香自苦寒来
6楼2011-12-20 16:17:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

skymanwowo

铁虫 (初入文坛)
加点氧化剂 不然 点个灯 照照
赞一下 回复此楼
7楼2014-04-06 14:49:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

paradisofilm

新虫 (小有名气)
你好 我能弱弱的问一下 后面你硅线刻上了没？我的是先在p型 100 上沉积一层Ag  后面用氢氟酸和过氧化氢刻蚀  温度是50度，也是打死都刻不上。求指导
赞一下 回复此楼
生命不息，折腾不止，流浪中，风起则动，风定则落....ladidadidada......
8楼2014-07-28 11:38:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jimmyyo

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by paradisofilm at 2014-07-28 11:38:38
你好 我能弱弱的问一下 后面你硅线刻上了没？我的是先在p型 100 上沉积一层Ag  后面用氢氟酸和过氧化氢刻蚀  温度是50度，也是打死都刻不上。求指导

你刻蚀出来的是什么形貌？？
赞一下 回复此楼
9楼2014-08-12 10:10:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

paradisofilm

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by jimmyyo at 2014-08-12 10:10:51
你刻蚀出来的是什么形貌？？...

形貌？只是要么宏观看上去 很不均匀，要不就是硅片变黑了 但是刮不下来
赞一下 回复此楼
生命不息，折腾不止，流浪中，风起则动，风定则落....ladidadidada......
10楼2014-08-18 20:50:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 421268680 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:36 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 10/500 2026-11-09 08:00 by IhnEQauGmT3K
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 05:26 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-09 00:14 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭