24小时热门版块排行榜    

查看: 3618  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

421268680

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊?求救

我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液  以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突,可用硝酸一洗和没刻一样,各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jimmyyo

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by paradisofilm at 2014-07-28 11:38:38
你好 我能弱弱的问一下 后面你硅线刻上了没?我的是先在p型 100 上沉积一层Ag  后面用氢氟酸和过氧化氢刻蚀  温度是50度,也是打死都刻不上。求指导

你刻蚀出来的是什么形貌??
9楼2014-08-12 10:10:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

zhangjwxjtu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我原来也做过类似的工作,关键在于溶液的配比、温度,及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer?电导率是多少?
2楼2011-12-19 08:30:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是硅片变了?
3楼2011-12-19 08:31:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

421268680

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangjwxjtu at 2011-12-19 08:30:36:
我原来也做过类似的工作,关键在于溶液的配比、温度,及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer?电导率是多少?

我用的N型的 以前做实验的条件都是一样的 可不知道为什么最近老是失败
4楼2011-12-19 11:04:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 289求调剂 +6 步川酷紫123 2026-03-11 6/300 2026-03-17 10:23 by Sammy2
[考研] 290求调剂 +6 @将就将就看 2026-03-10 11/550 2026-03-17 10:22 by @将就将就看
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 4/200 2026-03-16 20:13 by Wangjingyue
[文学芳草园] 伙伴们,祝我生日快乐吧 +17 myrtle 2026-03-10 26/1300 2026-03-16 18:32 by 青橙Ln
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +3 小匕仔汁 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:17 by vgtyfty
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 296求调剂 +3 大口吃饭 身体健 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:31 by 学员8dgXkO
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
请填处理意见