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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】关于湿法刻蚀
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night.thie

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】关于湿法刻蚀 已有3人参与

想在玻璃上用氢氟酸刻蚀出结构，想用金做玻璃片的保护层，请问各位大虾金腐蚀液，铬腐蚀液的配方哪里找啊，帮忙推荐一个专门介绍腐蚀液的书好不好，或者在哪能买到现成的，谢谢各位了，还有个问题就是我手里没有AZ系列的光刻胶，SU8或者有一个正胶叫S1805大家帮着鉴定下可行不，谢谢了
怎么能得到金币啊，没有金币实在是给不了大家，我先欠着行不，有了我就赠送
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1楼 2009-11-28 11:00:57
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shikyang

铜虫 (正式写手)

support you

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
I am not good at your area.
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2楼2009-11-29 01:31:04
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night.thie

新虫 (初入文坛)

thx

引用回帖:
Originally posted by shikyang at 2009-11-29 01:31:
I am not good at your area.

依旧thx
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3楼2009-11-29 09:58:33
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nanoatom

铜虫 (正式写手)
帮顶
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4楼2009-11-29 16:01:46
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yanpl2010

银虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 12-3 10:52
金腐蚀液网上一搜就是，SU8厚胶光刻工艺较复杂，两者选后者较好
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5楼2009-11-30 16:49:38
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 12-3 10:54
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):night.thie虫子所赠~ 12-3 10:57
请查阅：Kirt R. Williams et al “etching rates for micromachining process” Part1（1996）part 2（2003），这两篇文章可以说是MEMS刻蚀加工的经典参考文献。有你所需！
赞一下(21人) 回复此楼
6楼2009-12-02 16:20:19
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night.thie

新虫 (初入文坛)

thx

引用回帖:
Originally posted by nanoatom at 2009-11-29 16:01:
帮顶

可是发现了另一个问题就是S1805连乙醇都能擦掉，能经得住腐蚀液么，昨天我用了氢氟酸，一下下S1805就牺牲了阿，请教下~~~
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7楼2009-12-03 09:29:49
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night.thie

新虫 (初入文坛)
★
薰衣草儿(金币-1,VIP+0):偶帮你再给他一个金币吧~0.5没法办了，虫子点一下右上角红包和页面下的广告，两个金币就有了~ 12-3 10:55
引用回帖:
Originally posted by damuchongzi at 2009-12-2 16:20:
请查阅：Kirt R. Williams et al “etching rates for micromachining process” Part1（1996）part 2（2003），这两篇文章可以说是MEMS刻蚀加工的经典参考文献。有你所需！

超级感谢阿，我其实很想把我的1.5个金币给你，还找不到给金币的地方，被我师姐笑话了，呵呵，不过还是谢谢你啊，两个文献下来了，在看，谢谢谢谢
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8楼2009-12-03 09:40:41
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night.thie

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by night.thie at 2009-12-3 09:40:

超级感谢阿，我其实很想把我的1.5个金币给你，还找不到给金币的地方，被我师姐笑话了，呵呵，不过还是谢谢你啊，两个文献下来了，在看，谢谢谢谢

呵呵，今日红包就是那个0.5个金币，呵呵，广告给了我一个，哈哈，我还推荐同学了，谢谢哈
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9楼2009-12-03 11:26:05
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-20 10:16
苏州 瑞红 有正胶可耐 BHF  并且较厚 试试看不知道行不
正胶通常耐酸不耐碱

[ Last edited by maccaboy on 2010-1-20 at 12:01 ]
赞一下(11人) 回复此楼
10楼2010-01-15 19:38:32
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