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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】关于湿法刻蚀
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liuruicxz

铜虫 (正式写手)
★ ★
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薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-20 10:16
SU8通常很难去除，要在高温下强酸煮才可以去掉。而通常AZ系列的正胶很容易在碱容易中去掉
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水本无愁因风皱面，山原不老为雪白头
11楼2010-01-19 22:19:33
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★
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关键是玻璃是各向同性的  刻蚀什么结构呵
欢迎 站内交流
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12楼2010-01-20 12:03:39
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bluesea3385

银虫 (著名写手)

小木虫之悲情泪主
学习了
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人生若只如初见，何事西风悲画扇？等闲变却故人心，却道故人心易变。
13楼2010-02-27 23:31:28
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bluesea3385

银虫 (著名写手)

小木虫之悲情泪主
学习了
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人生若只如初见，何事西风悲画扇？等闲变却故人心，却道故人心易变。
14楼2010-02-28 00:19:38
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
★
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首先，选什么胶，要看你打算制备的结构的尺寸，形状来定，每种胶可以光刻的尺寸大小都有不同，至于胶的种类很多，你可以跟商家联系购买，他们会给你一个详细的说明单，说明他们的胶的用途和使用范围；至于腐蚀液，你要考虑到会不会腐蚀掉胶和金，或者也可以使用其他的保护层，从而达到你所需要的效果；去除金的话，应该有 很多种方法的，我们同学有人做过。
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没有做不到只有想不到
15楼2010-03-04 10:47:21
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gamewang

木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
Originally posted by damuchongzi at 2009-12-02 16:20:19:
请查阅：Kirt R. Williams et al “etching rates for micromachining process” Part1（1996）part 2（2003），这两篇文章可以说是MEMS刻蚀加工的经典参考文献。有你所需！

谢谢你 很有帮助
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微信公众号：zajiadabing
16楼2010-07-31 08:22:44
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woshixinshou

金虫 (正式写手)
★
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金的腐蚀可以用KI和I2混合溶液，光刻胶用S1805
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耐得寂寞
17楼2010-08-04 19:28:35
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
楼主能帮忙把这两篇文章发给我吗（Kirt R. Williams et al “etching rates for micromachining process” Part1（1996）part 2（2003），
）？谢谢了
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18楼2010-08-05 08:28:28
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