磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO;IBE、RIE、WE刻蚀加工
联系人: 赵工 / 邮箱: zyy44138172@126.com / 手机: 15108299816
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foxs2

木虫 (文坛精英)

[商家供应] 提供镀膜刻蚀服务

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内容

我实验室为专门的薄膜制备与加工实验室,可以进行磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD镀膜加工,材料包括各种半导体材料和金属材料(Si,SiO2,Si3N4,ZnO,Al2O3,Al,Ag,Au,Cu,Cr,Mo等),金属、Si薄膜厚度可以为15-1000nm范围,SiO2,Si3N4等一般在15-500nm,特殊厚度另询。
同时提供IBE、RIE刻蚀服务,可刻蚀各种金属、非金属材料。单个基片直径需不大于4吋。
赵工 zyy44138172@126.com       壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆

[ Last edited by foxs2 on 2016-1-19 at 15:25 ]

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zyy3838z

新虫 (初入文坛)

多多合作,科研顺利~
77楼2012-09-03 19:06:20
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2楼2012-03-08 11:04:46
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