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半导体薄膜制备及加工技术实验室
磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蚀加工
联系人: 赵工 / 邮箱: zyy44138172@126.com / 手机: 15108299816
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foxs2

木虫 (文坛精英)

[商家供应] 提供镀膜刻蚀服务

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内容

我实验室为专门的薄膜制备与加工实验室，可以进行磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD镀膜加工，材料包括各种半导体材料和金属材料（Si,SiO2,Si3N4,ZnO,Al2O3,Al,Ag,Au,Cu,Cr,Mo等），金属、Si薄膜厚度可以为15-1000nm范围，SiO2,Si3N4等一般在15-500nm，特殊厚度另询。
同时提供IBE、RIE刻蚀服务，可刻蚀各种金属、非金属材料。单个基片直径需不大于4吋。
赵工 zyy44138172@126.com       壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆

[ Last edited by foxs2 on 2016-1-19 at 15:25 ]
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1楼 2012-03-08 11:03:42
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zyy3838z

新虫 (初入文坛)
多多合作，科研顺利~
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77楼2012-09-03 19:06:20
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2楼2012-03-08 11:04:46
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bai123
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3楼2012-03-08 11:05:44
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见证2011
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4楼2012-03-08 11:20:13
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clszdy
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5楼2012-03-08 11:26:21
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weichin
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6楼2012-03-08 11:38:38
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ncq_288
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leimiao_hit
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emorson
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9楼2012-03-08 12:16:36
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910883974
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