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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
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421268680

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救

我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液  以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突，可用硝酸一洗和没刻一样，各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
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1楼2011-12-18 21:10:35
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yangguang53

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是硅片变了？
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3楼2011-12-19 08:31:44
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zhangjwxjtu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我原来也做过类似的工作，关键在于溶液的配比、温度，及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer？电导率是多少？
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2楼2011-12-19 08:30:36
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421268680

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangjwxjtu at 2011-12-19 08:30:36:
我原来也做过类似的工作，关键在于溶液的配比、温度，及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer？电导率是多少？

我用的N型的 以前做实验的条件都是一样的 可不知道为什么最近老是失败
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4楼2011-12-19 11:04:20
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421268680

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-19 08:31:44:
是不是硅片变了？

应该不会把 我是新买的硅片
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5楼2011-12-19 11:04:58
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