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421268680

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊?求救

我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液  以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突,可用硝酸一洗和没刻一样,各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
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zhangjwxjtu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我原来也做过类似的工作,关键在于溶液的配比、温度,及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer?电导率是多少?
2楼2011-12-19 08:30:36
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yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是硅片变了?
3楼2011-12-19 08:31:44
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421268680

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangjwxjtu at 2011-12-19 08:30:36:
我原来也做过类似的工作,关键在于溶液的配比、温度,及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer?电导率是多少?

我用的N型的 以前做实验的条件都是一样的 可不知道为什么最近老是失败
4楼2011-12-19 11:04:20
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421268680

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yangguang53 at 2011-12-19 08:31:44:
是不是硅片变了?

应该不会把 我是新买的硅片
5楼2011-12-19 11:04:58
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xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你为什么要用硝酸去洗呢?最后的生成物中有什么?你通过显微镜观察过嘛?你考虑一下反应的过程,每一步都很关键,反应物和产物都要搞清楚,反应条件如温度、溶液浓度等也要注意。我没有做过相关的实验,但我做过别的湿法腐蚀,所以不敢在此造次妄言。
梅花香自苦寒来
6楼2011-12-20 16:17:44
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skymanwowo

铁虫 (初入文坛)

加点氧化剂 不然 点个灯 照照
7楼2014-04-06 14:49:18
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paradisofilm

新虫 (小有名气)

你好 我能弱弱的问一下 后面你硅线刻上了没?我的是先在p型 100 上沉积一层Ag  后面用氢氟酸和过氧化氢刻蚀  温度是50度,也是打死都刻不上。求指导
生命不息,折腾不止,流浪中,风起则动,风定则落....ladidadidada......
8楼2014-07-28 11:38:38
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jimmyyo

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by paradisofilm at 2014-07-28 11:38:38
你好 我能弱弱的问一下 后面你硅线刻上了没?我的是先在p型 100 上沉积一层Ag  后面用氢氟酸和过氧化氢刻蚀  温度是50度,也是打死都刻不上。求指导

你刻蚀出来的是什么形貌??
9楼2014-08-12 10:10:51
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paradisofilm

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by jimmyyo at 2014-08-12 10:10:51
你刻蚀出来的是什么形貌??...

形貌?只是要么宏观看上去 很不均匀,要不就是硅片变黑了 但是刮不下来
生命不息,折腾不止,流浪中,风起则动,风定则落....ladidadidada......
10楼2014-08-18 20:50:59
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