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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
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421268680

银虫 (小有名气)

[求助] 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救

我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液  以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突，可用硝酸一洗和没刻一样，各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
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1楼2011-12-18 21:10:35
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xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你为什么要用硝酸去洗呢？最后的生成物中有什么？你通过显微镜观察过嘛？你考虑一下反应的过程，每一步都很关键，反应物和产物都要搞清楚，反应条件如温度、溶液浓度等也要注意。我没有做过相关的实验，但我做过别的湿法腐蚀，所以不敢在此造次妄言。
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梅花香自苦寒来
6楼2011-12-20 16:17:44
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