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硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊?求救
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风火轮1109
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虫号: 5358926
注册: 2016-12-15
性别:
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专业: 半导体材料
引用回帖:
1楼
:
Originally posted by
421268680
at 2011-12-18 21:10:35
我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液 以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突,可用硝酸一洗和没刻一样,各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
楼主,想请教关于金属辅助化学法刻蚀生长硅纳米线阵列的细节问题。实验总重复不出来,越来越糟糕~
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11楼
2016-12-16 14:17:03
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虫号: 3307621
注册: 2014-07-04
性别: GG
专业: 胶体与界面化学
这个条件略苛刻 能不用尽量不用 毕竟氢氟酸太毒 如果必须用 具体问题可以私信我
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12楼
2016-12-20 00:22:31
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