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硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊?求救
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[
求助
]
硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊?求救
我最近在做硅片湿法刻蚀 制作硅纳米线 用的氢氟酸和硝酸银的刻蚀溶液 以前的时候能刻蚀成功 可最近好长一段时间发现刻蚀完也有银树突,可用硝酸一洗和没刻一样,各位大侠 谁有这方面的经验啊 介绍下啊 谢谢
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【求助】关于湿法刻蚀
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2011-12-18 21:10:35
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skymanwowo
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2014-04-06 14:49:18
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zhangjwxjtu
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我原来也做过类似的工作,关键在于溶液的配比、温度,及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer?电导率是多少?
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2011-12-19 08:30:36
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【答案】应助回帖
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是不是硅片变了?
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3楼
2011-12-19 08:31:44
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专业: 半导体材料
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2楼
:
Originally posted by
zhangjwxjtu
at 2011-12-19 08:30:36:
我原来也做过类似的工作,关键在于溶液的配比、温度,及所用的硅wafer的导电性。你用什么导电类型的Si wafer?电导率是多少?
我用的N型的 以前做实验的条件都是一样的 可不知道为什么最近老是失败
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4楼
2011-12-19 11:04:20
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