应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
171/2返回列表12下一页
查看: 3750  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？ 已有12人参与

我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
梦想不能当饭吃啊
1楼 2011-03-16 14:09:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

lasyia

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by cyjpu at 2011-03-16 16:26:26:
跟你用的什么抛光片也有关系，（111）面和（100）面的腐蚀速率肯定也是不一样的。

刚入门  弱弱的问一句 111面和100面 有什么区别？
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2011-03-17 10:59:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
★
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:55:02
引用回帖:
Originally posted by vmuch520 at 2011-03-17 09:29:47:
10%？太浓了吧？

他们去氧化层是用的2.5%，所谓的增加粗糙度是用的20%
赞一下(2人) 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
6楼2011-03-17 13:58:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yxznjust

禁虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 2011-04-10 19:26:11
本帖内容被屏蔽
12楼2011-03-25 23:23:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanglurong1985

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
（100）/（111）的刻蚀选择比非常大，因此随着时间的延长几乎不会有什么变化，如果需要变粗糙，需要加电场，具体可以查阅相关资料或者给我E-mail，我做过这方面工作，了解一些。

wanglurong1985@yahoo.com.cn
赞一下(2人) 回复此楼
16楼2011-06-13 17:18:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

cyjpu

银虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:54:49
跟你用的什么抛光片也有关系，（111）面和（100）面的腐蚀速率肯定也是不一样的。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-03-16 16:26:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by cyjpu at 2011-03-16 16:26:26:
跟你用的什么抛光片也有关系，（111）面和（100）面的腐蚀速率肯定也是不一样的。

我用的是p（100）面的，氢氟酸腐蚀能不能使粗糙度加大呢？
赞一下 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
3楼2011-03-16 20:14:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
Originally posted by lzb7758520 at 2011-03-16 14:09:37:
我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度，可是文献中说法不一样啊，有的说随时间延长粗糙度会越来越大，有的说基本保持不变，到底哪个对啊？我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last  ...

10%？太浓了吧？
赞一下 回复此楼
4楼2011-03-17 09:29:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guangyuan89

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:55:10
兄弟可以在豆瓣上面找一下关于硅片制绒的文件
赞一下(2人) 回复此楼
这年头做人不容易啊
7楼2011-03-17 14:07:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

南通王

木虫 (正式写手)

我理解应该是使得表面平滑

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:55:26
貌似一般让硅表面平滑是用氢氟酸，因为能使得表面氢化或者说钝化，去除表面的二氧化硅。如果要使得表面粗糙，可以让溶液发生氧化还原反应或者电化学方法。
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2011-03-17 21:52:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bearvsnike

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by lasyia at 2011-03-17 10:59:31:
刚入门  弱弱的问一句 111面和100面 有什么区别？


美女~
生长面不一样。。帮你顶一下
赞一下(1人) 回复此楼
此人比较懒！
9楼2011-03-18 00:41:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by guangyuan89 at 2011-03-17 14:07:05:
兄弟可以在豆瓣上面找一下关于硅片制绒的文件

正解，谢谢啊！高手呵呵
赞一下 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
10楼2011-03-24 10:27:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lzb7758520 的主题更新
171/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +4 wangyl_123 2026-10-10 8/400 2026-10-12 18:09 by wangyl_123
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +5 Isak0320 2026-10-12 7/350 2026-10-12 18:03 by 有人要害朕
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +3 好运来～9527 2026-10-10 6/300 2026-10-12 14:55 by 简单化xn
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +5 13108017953 2026-10-08 5/250 2026-10-10 11:15 by wdwd123
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭