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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】氢氟酸刻蚀硅片,粗糙度是怎么变化的啊? 已有12人参与

我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度,可是文献中说法不一样啊,有的说随时间延长粗糙度会越来越大,有的说基本保持不变,到底哪个对啊?我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last edited by lzb7758520 on 2011-3-16 at 14:10 ]
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梦想不能当饭吃啊
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yxznjust

禁虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
金光闪闪2010(金币+1): 2011-04-10 19:26:11
本帖内容被屏蔽

12楼2011-03-25 23:23:46
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查看全部 17 个回答

cyjpu

银虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-03-17 22:54:49
跟你用的什么抛光片也有关系,(111)面和(100)面的腐蚀速率肯定也是不一样的。
2楼2011-03-16 16:26:26
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by cyjpu at 2011-03-16 16:26:26:
跟你用的什么抛光片也有关系,(111)面和(100)面的腐蚀速率肯定也是不一样的。

我用的是p(100)面的,氢氟酸腐蚀能不能使粗糙度加大呢?
梦想不能当饭吃啊
3楼2011-03-16 20:14:58
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

引用回帖:
Originally posted by lzb7758520 at 2011-03-16 14:09:37:
我最近想用10%氢氟酸刻蚀下硅片形成一定的粗糙度,可是文献中说法不一样啊,有的说随时间延长粗糙度会越来越大,有的说基本保持不变,到底哪个对啊?我针对的是抛光面。
不知谁有相关的文献提供下。

[ Last  ...

10%?太浓了吧?
4楼2011-03-17 09:29:47
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