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gamewang木虫 (著名写手)
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【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样（有图）已有9人参与
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我用20%的氢氧化钠在80度下腐蚀n型的硅片一个小时，用光学显微镜观察的结果如图所示，怎么是斑斑点点的，并且从表面肉眼观察反光的比较厉害，怎么会这样？不应该是黑一些的么？而且表面好像有一层熔融状的透明物质，用盐酸都煮不掉，如何调整工艺？卡住好久了，谢谢您帮我解答～ |
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6楼2010-07-21 08:29:19
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8楼2010-07-21 09:05:47
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