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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样(有图) 已有9人参与

我用20%的氢氧化钠在80度下腐蚀n型的硅片一个小时,用光学显微镜观察的结果如图所示,怎么是斑斑点点的,并且从表面肉眼观察反光的比较厉害,怎么会这样?不应该是黑一些的么?而且表面好像有一层熔融状的透明物质,用盐酸都煮不掉,如何调整工艺?卡住好久了,谢谢您帮我解答~
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atib0539

铁杆木虫 (正式写手)

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yunruirui(金币+1):谢谢交流,欢迎常来 2010-07-22 13:04:13
像是金字塔形貌,用的应该是100的硅片吧,这个浓度用100硅片是可以腐蚀出来金字塔形貌的。太阳能里用来做光陷的。不知你要用来干嘛。
6楼2010-07-21 08:29:19
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stao4312

木虫 (著名写手)

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yunruirui(金币+1):谢谢交流,欢迎常来 2010-07-22 13:03:45
氢氧化钠碱性太强,腐蚀过程中最好加一些缓蚀剂保护硅片
2楼2010-07-20 21:14:08
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aweng

银虫 (正式写手)

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yunruirui(金币+1):谢谢参与,欢迎常来 2010-07-22 13:03:56
这是光学显微镜的照片吧,如果是纯的NaOH溶液的话,基本上就是这个样子的,二楼说的对,要在溶液中下功夫才对。除了缓释剂之外,温度,时间等条件也要摸索。
3楼2010-07-20 22:28:54
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lenny1123


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
如果想得到粗糙的硅表面,不妨参照太阳能电池的制备工艺,用NaOH和乙醇的溶液,再用HF清洗表面。
4楼2010-07-21 08:13:59
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lenny1123

可加我的QQ378109038,进一步交流
5楼2010-07-21 08:14:34
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by stao4312 at 2010-07-20 21:14:08:
氢氧化钠碱性太强,腐蚀过程中最好加一些缓蚀剂保护硅片

缓蚀剂是一些醇类么?
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7楼2010-07-21 09:04:24
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by aweng at 2010-07-20 22:28:54:
这是光学显微镜的照片吧,如果是纯的NaOH溶液的话,基本上就是这个样子的,二楼说的对,要在溶液中下功夫才对。除了缓释剂之外,温度,时间等条件也要摸索。

谢谢您 我用的是文献中的参数 我还以为会成功呢~~~
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8楼2010-07-21 09:05:47
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gamewang

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by atib0539 at 2010-07-21 08:29:19:
像是金字塔形貌,用的应该是100的硅片吧,这个浓度用100硅片是可以腐蚀出来金字塔形貌的。太阳能里用来做光陷的。不知你要用来干嘛。

恩 是100的面 我就是来制绒的 没有想到制成这个样子~~~
微信公众号:zajiadabing
9楼2010-07-21 09:06:32
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atib0539

铁杆木虫 (正式写手)

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yunruirui(金币+1):谢谢参与交流,欢迎常来 2010-07-22 13:04:34
引用回帖:
Originally posted by gamewang at 2010-07-21 09:06:32:

恩 是100的面 我就是来制绒的 没有想到制成这个样子~~~

我也做过绒面,你这已经可以了啊,就是金字塔密度有点小,适当的增加点腐蚀时间就能得到金字塔密度更大的形貌,陷光也就会好些。注意别太长。另外我看你的金字塔有点坍塌的感觉,棱角不是太明显,这个密度感觉不应该是这样。不行在电镜下看下。
10楼2010-07-21 12:31:52
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