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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样(有图) 已有9人参与

我用20%的氢氧化钠在80度下腐蚀n型的硅片一个小时,用光学显微镜观察的结果如图所示,怎么是斑斑点点的,并且从表面肉眼观察反光的比较厉害,怎么会这样?不应该是黑一些的么?而且表面好像有一层熔融状的透明物质,用盐酸都煮不掉,如何调整工艺?卡住好久了,谢谢您帮我解答~
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lenny1123


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
如果想得到粗糙的硅表面,不妨参照太阳能电池的制备工艺,用NaOH和乙醇的溶液,再用HF清洗表面。
4楼2010-07-21 08:13:59
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stao4312

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢交流,欢迎常来 2010-07-22 13:03:45
氢氧化钠碱性太强,腐蚀过程中最好加一些缓蚀剂保护硅片
2楼2010-07-20 21:14:08
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aweng

银虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢参与,欢迎常来 2010-07-22 13:03:56
这是光学显微镜的照片吧,如果是纯的NaOH溶液的话,基本上就是这个样子的,二楼说的对,要在溶液中下功夫才对。除了缓释剂之外,温度,时间等条件也要摸索。
3楼2010-07-20 22:28:54
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lenny1123

可加我的QQ378109038,进一步交流
5楼2010-07-21 08:14:34
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