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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于旋涂的溶液浓度及转速时间等问题
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至少还有你

银虫 (小有名气)

[求助] 关于旋涂的溶液浓度及转速时间等问题

本人现在需要在硅片上旋涂上一层有机层，我试过溶液浓度为10mM，转速也比较快，后来发现好像没有旋涂上去，请问各位大神是不是需要把溶液的浓度调大一些，转速及低速高速的时间有没有什么技巧呢？？？
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1楼 2011-12-25 15:33:56
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至少还有你

银虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by linjx404 at 2011-12-30 15:59:42:
我旋涂也有过这种问题，旋涂完分散不好，聚成一小块，一小块的，甚至根本没有。或者呢，就是旋涂完挺均匀的（对着光可以看到），但是过一段时间后有收缩成一小粒一小粒的形态。
后来通过处理基底能改善些，就是分 ...

个人觉得玻璃基片和硅片差别比较大吧
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11楼2011-12-30 16:37:01
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匿名

用户注销 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
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2楼2011-12-25 17:22:06
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
至少还有你(金币+5): ★有帮助 谢谢哦，我再试试 2011-12-26 10:23:31
本帖内容被屏蔽
3楼2011-12-25 17:32:07
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至少还有你

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by 西塔小西西 at 2011-12-25 17:32:07:
不知道你的“转速比较快”到底有多快。最好写详细一点，溶质，溶剂，转速，时间。
另外你确定没旋上？一般如果膜层厚度太薄（比如低于30 nm）可能会肉眼看不见，你试试用刀片或尖锐的物体在表面划一下看有没有划 ...

我刚刚去看了，低速是460r/min，高速是1460r/min。溶液是某有机物的乙醇溶液，浓度是10mMOL/L，时间是低速9S，高速20S，请问这个的情况是不是不容易旋涂上去。这次却是是没旋涂上去，我们去看了SEM的
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4楼2011-12-26 16:07:56
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