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硅片表面的超薄膜怎么表征?
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虫号: 1588219
注册: 2012-01-27
性别: GG
专业: 高分子科学
[
求助
]
硅片表面的超薄膜怎么表征?
我在硅片表面涂了一层纳米级或者微米级的膜,想对其进行详细的表征,但是很多测试都做不了啊?请大家给出出主意,都有哪些测试可以表征清楚这个 谢谢
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1楼
2013-06-14 16:56:54
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涣散@眼眸
至尊木虫
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注册: 2012-04-03
性别:
MM
专业: 有机高分子材料
AFM就很好啊。STM、SEM这些都可以表征
赞
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多年之后,你会感谢现在如此努力的你~~~
9楼
2013-06-27 15:30:17
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