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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备
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Haleyes

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备

请问现在世界上最好纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备，分别是哪个国家哪个公司的最好？本人对纳米薄膜的制备及表征不是很懂，希望路过的人给你帮助，我再做细致的调研，越详细越好，越多越好。
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1楼 2011-01-19 13:21:56
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xjajx

至尊木虫 (著名写手)
★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
yunruirui: 谢谢交流 2011-01-19 19:21:11
引用回帖:
Originally posted by Haleyes at 2011-01-19 13:21:56:
请问现在世界上最好纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备，分别是哪个国家哪个公司的最好？本人对纳米薄膜的制备及表征不是很懂，希望路过的人给你帮助，我再做细致的调研，越详细越好，越多越好。

如果制备的话，很多用MBE或者MOCVD吧，表征的话可以用SEM，AFM，XRD，XPS等等，你得看你具体的样品，
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2楼2011-01-19 17:12:32
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xuejiang

银虫 (小有名气)
★ ★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
yunruirui: 谢谢参与 2011-01-23 09:18:25
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-01-25 17:19:03
长春应用化学研究所有人在做纳米薄膜，你可以问一下，制备仪器不算贵。表征的话就用SEM，tem，xrd等。
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3楼2011-01-21 11:01:14
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汉王重出江湖

木虫 (著名写手)
★ ★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
yunruirui: 谢谢参与 2011-01-23 09:18:35
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-01-25 17:18:48
磁控溅射仪，
AFM，XRD，XPS
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4楼2011-01-21 14:21:01
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lff0432

金虫 (小有名气)
★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
“最好的”需要很多钱，比如很好的XPS和AFM
都是纳税人的钱，省着点花吧
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6楼2011-01-25 10:16:12
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jjch

铁杆木虫 (著名写手)
★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by Haleyes at 2011-01-19 13:21:56:
请问现在世界上最好纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备，分别是哪个国家哪个公司的最好？本人对纳米薄膜的制备及表征不是很懂，希望路过的人给你帮助，我再做细致的调研，越详细越好，越多越好。

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7楼2011-01-27 16:23:10
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ylkbyd007

禁虫 (小有名气)
★ ★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-01-29 20:19:55
本帖内容被屏蔽
8楼2011-01-29 18:15:16
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paperhunter

荣誉版主 (文学泰斗)
★ ★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-01-29 20:20:07
NOVA系列全自动比表面和孔径分布分析仪
纳米粒度仪（Dylisizer-2）
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9楼2011-01-29 18:30:22
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cai_yuanyuan

新虫 (正式写手)
★
Haleyes(金币+1):谢谢参与
可以用MBE  磁控溅射、LB拉膜机、真空蒸镀。表征 可以用 AFM 　ＸＲＤ　TEM　SEM
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10楼2011-12-14 12:15:06
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贝壳摩尔

金虫 (小有名气)
★
Haleyes(金币+1): 谢谢参与
低角度X射线衍射及X射线反射率测量！
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11楼2012-08-27 10:26:16
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mengyonghong

银虫 (小有名气)
★
Haleyes(金币+1): 谢谢参与
表征纳米薄膜层构参数和光学参数，最长用的是椭偏仪，包括：光谱椭偏仪、激光椭偏仪，还有专门用于过程监控的在线椭偏仪。
国外厂家：美国1家、德国1家、法国2家（分别被日本和匈牙利收购了）；
国内厂家：1个专业椭偏仪器厂家（北京量拓），以及几个有椭偏仪的厂家
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12楼2013-03-14 16:05:46
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
★
Haleyes(金币+1): 谢谢参与
一般做出来后，XRD,SEM(表面和截面)这些是必须的。
XRD可以分析结构相，有人根据XRDd 三强峰来计算晶粒大小，我觉得这个不可靠，薄膜受基底影响，峰位和峰强都会有一定的改变的。
表面SEM分析表面形貌，看是否有微裂纹（这个对纳米薄膜来说很重要，有微裂纹的薄膜基本上是失败了），晶粒大小与均匀度，表面粗糙度等等。
还有很重要的是截面SEM,这个对纳米薄膜的表征是必须的。要说明你做的是纳米薄膜，就必须提供薄膜的厚度，以及薄膜与基底的结合情况。。。
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13楼2013-04-20 20:30:07
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lxbin987

禁虫 (初入文坛)
★
Haleyes(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
14楼2013-04-20 21:21:33
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涣散@眼眸

至尊木虫 (正式写手)
★
Haleyes(金币+1): 谢谢参与
AFM、SEM、XRD、
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15楼2013-06-27 15:50:29
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jihongfei5楼
2011-01-21 22:07   回复  
Haleyes(金币+1):谢谢参与
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