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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 测试表征 » 硅片表面的超薄膜怎么表征？
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维尼熊欢仔

木虫 (小有名气)

[求助] 硅片表面的超薄膜怎么表征？

我在硅片表面涂了一层纳米级或者微米级的膜，想对其进行详细的表征，但是很多测试都做不了啊？请大家给出出主意，都有哪些测试可以表征清楚这个 谢谢
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1楼2013-06-14 16:56:54
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涣散@眼眸

至尊木虫 (正式写手)
AFM就很好啊。STM、SEM这些都可以表征
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多年之后，你会感谢现在如此努力的你～～～
9楼2013-06-27 15:30:17
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查看全部 12 个回答

橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+1, 感谢应助 2013-06-14 19:06:16
维尼熊欢仔: 金币+1 2013-06-15 08:45:46
试试硅片表面化学表征的SIMS-XPS 方法
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2楼2013-06-14 17:23:54
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gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+2, 感谢应助 2013-06-14 19:06:21
维尼熊欢仔: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-06-15 08:45:39
最简单的就用X-射线，还可以用透射电镜（分别做平面和界面观察晶粒），扫描电镜，原子力/磁力显微镜（观察表面形貌），xps（价态分析），原子探针，EDS（元素和成分分析）。当然还可以做纳米压痕研究力学性能，也可能做拉曼光谱进行化学键分析。DSC/DTA也可考虑，观察转变温度。做磁性能分析，可以采用VSM，SQUID，PPMS等。不知楼主做什么研究，方向不同，工具不同。
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3楼2013-06-14 18:07:34
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+1, 感谢应助 2013-06-14 19:06:27
顶一下，不知道能不能有点帮助。
水热条件下SiO2超疏水复合薄膜的制备和表征
http://www.doc88.com/p-8939990386600.html
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4楼2013-06-14 18:33:30
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