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维尼熊欢仔

木虫 (小有名气)

[求助] 硅片表面的超薄膜怎么表征?

我在硅片表面涂了一层纳米级或者微米级的膜,想对其进行详细的表征,但是很多测试都做不了啊?请大家给出出主意,都有哪些测试可以表征清楚这个 谢谢
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polymeryzh

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
维尼熊欢仔: 金币+6, ★★★很有帮助 2013-06-18 12:38:37
引用回帖:
5楼: Originally posted by 维尼熊欢仔 at 2013-06-14 19:03:07
我在硅片表面做层层自组装,想表征组装过程,由于是硅片,不能做紫外测试,反射红外也做不了,还能做什么呢...

如果表征精细结构应该使用X-ray 反射或中子反射,测量厚度使用椭圆偏振光或膜厚仪,表征表面亲疏水性使用接触角,表征表面化学组成最好的是TOF-SIMS,也可以考虑反射紫外,衰减全反射红外以及XPS。
8楼2013-06-18 09:13:59
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+1, 感谢应助 2013-06-14 19:06:16
维尼熊欢仔: 金币+1 2013-06-15 08:45:46
试试硅片表面化学表征的SIMS-XPS 方法
2楼2013-06-14 17:23:54
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gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+2, 感谢应助 2013-06-14 19:06:21
维尼熊欢仔: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-06-15 08:45:39
最简单的就用X-射线,还可以用透射电镜(分别做平面和界面观察晶粒),扫描电镜,原子力/磁力显微镜(观察表面形貌),xps(价态分析),原子探针,EDS(元素和成分分析)。当然还可以做纳米压痕研究力学性能,也可能做拉曼光谱进行化学键分析。DSC/DTA也可考虑,观察转变温度。做磁性能分析,可以采用VSM,SQUID,PPMS等。不知楼主做什么研究,方向不同,工具不同。
3楼2013-06-14 18:07:34
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+1, 感谢应助 2013-06-14 19:06:27
顶一下,不知道能不能有点帮助。
水热条件下SiO2超疏水复合薄膜的制备和表征
http://www.doc88.com/p-8939990386600.html
4楼2013-06-14 18:33:30
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