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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 硅片上的薄膜的XRD怎么测
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tianci1993

木虫 (著名写手)

[求助] 硅片上的薄膜的XRD怎么测 已有7人参与

在硅片上做出的薄膜，测XRD的时候发现硅的峰太强。怎么把薄膜弄下来测试？
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1楼 2014-04-29 17:52:53
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道远58

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先确定出你做的薄膜峰在多少度，然后在扫描设定范围时避开硅峰出现的角度，把薄膜峰角度包括进去

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9楼2014-05-01 10:14:12
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普通回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
能否再测一个单独的硅片的XRD，然后将其作为背景从原来的数据中减去呢？
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2楼2014-04-29 20:30:24
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tianci1993

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-04-29 20:30:24
能否再测一个单独的硅片的XRD，然后将其作为背景从原来的数据中减去呢？

貌似不行～～硅片的峰太强了～～影响很严重～～

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-04-29 21:25:41
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hsl1987

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Si的xrd峰本来就强，可以用较小的电流扫描看一下，有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰，用大电流扫描，看看有没有薄膜的峰!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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我就是我
4楼2014-04-29 21:31:38
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不是一个晶面也不行么，怎么我用小角就可以
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新的奋斗天天开始
5楼2014-04-29 22:42:47
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bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你薄膜厚度多少，特征峰在什么范围，测试加的电流是多少？
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6楼2014-04-30 12:42:13
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kingjin1985

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tianci1993: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-05-01 18:20:58
采用掠入射方式扫
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7楼2014-04-30 13:56:27
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gxd246

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
再多做几层试试，厚度到了，做的再好点的话，基本就能遮住si峰了。。。
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爬行的蜗牛……
8楼2014-05-01 09:33:25
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吐槽导师

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hsl1987 at 2014-04-29 21:31:38
Si的xrd峰本来就强，可以用较小的电流扫描看一下，有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰，用大电流扫描，看看有没有薄膜的峰!

请问是将硅片直接夹在设备上测试吗？
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10楼2014-10-07 19:57:31
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