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硅片上的薄膜的XRD怎么测
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tianci1993
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硅片上的薄膜的XRD怎么测
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在硅片上做出的薄膜,测XRD的时候发现硅的峰太强。怎么把薄膜弄下来测试?
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1楼
2014-04-29 17:52:53
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鲸鱼先生
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不是一个晶面也不行么,怎么我用小角就可以
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5楼
2014-04-29 22:42:47
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peterflyer
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能否再测一个单独的硅片的XRD,然后将其作为背景从原来的数据中减去呢?
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2楼
2014-04-29 20:30:24
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tianci1993
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2楼
:
Originally posted by
peterflyer
at 2014-04-29 20:30:24
能否再测一个单独的硅片的XRD,然后将其作为背景从原来的数据中减去呢?
貌似不行~~硅片的峰太强了~~影响很严重~~
[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼
2014-04-29 21:25:41
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hsl1987
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Si的xrd峰本来就强,可以用较小的电流扫描看一下,有没有薄膜的峰。还有就是避开Si的峰,用大电流扫描,看看有没有薄膜的峰!
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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我就是我
4楼
2014-04-29 21:31:38
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