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急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！ 已有9人参与
急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
新手上路，哈哈
射频生长、NiO薄膜，想测出XRD：
3寸NiO靶材，在玻璃基板上，
首先，用120w，170w的RF，通Ar：O2 为15，15sccm，沉积1小时，虽然靶材中间出现了裂纹，但生长的膜，还是太薄，或者结晶差，测不出XRD。
然后，用100w的RF，通Ar：O2 为50，50sccm，沉积1小时，还是测不出XRD的峰。
到底该怎么做呢？
多谢！ |
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