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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ljlaser

铁虫 (初入文坛)

[求助] 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！ 已有9人参与

急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
新手上路，哈哈
射频生长、NiO薄膜，想测出XRD：
3寸NiO靶材，在玻璃基板上，
首先，用120w，170w的RF，通Ar：O2 为15，15sccm，沉积1小时，虽然靶材中间出现了裂纹，但生长的膜，还是太薄，或者结晶差，测不出XRD。
然后，用100w的RF，通Ar：O2 为50，50sccm，沉积1小时，还是测不出XRD的峰。

到底该怎么做呢？

多谢！
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1楼 2014-05-19 09:24:42
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1. 建议先用椭圆仪或反射仪测一下膜厚和折射率，初步确定一下状况。
2. 靶裂了？！那电浆不可能均匀。你有没有看一下 matching-box匹配状况和反射比？如果出问题，再镀下去就要烧机器啰～～
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6楼2014-05-21 20:57:21
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刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用XRD是不好测的，本来就是薄膜，趁机上去的结晶度低。建议用XPS看看。
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2楼2014-05-19 14:55:41
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休眠火山

禁虫 (知名作家)

XRD&SEM qq2978260443

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先是要用测薄膜的特殊的XRD附件。如果没有这个东西是不行的。
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3楼2014-05-19 21:35:41
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chyan1102

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
沉积的膜太薄，结晶性查的话是测不出来的
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4楼2014-05-21 10:38:30
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