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ljlaser

铁虫 (初入文坛)


[求助] 急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 已有9人参与

急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢!
新手上路,哈哈
射频生长、NiO薄膜,想测出XRD:
3寸NiO靶材,在玻璃基板上,
首先,用120w,170w的RF,通Ar:O2 为15,15sccm,沉积1小时,虽然靶材中间出现了裂纹,但生长的膜,还是太薄,或者结晶差,测不出XRD。
然后,用100w的RF,通Ar:O2 为50,50sccm,沉积1小时,还是测不出XRD的峰。

到底该怎么做呢?

多谢!
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 建议先用椭圆仪或反射仪测一下膜厚和折射率,初步确定一下状况。
2. 靶裂了?!那电浆不可能均匀。你有没有看一下 matching-box匹配状况和反射比?如果出问题,再镀下去就要烧机器啰~~
6楼2014-05-21 20:57:21
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刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用XRD是不好测的,本来就是薄膜,趁机上去的结晶度低。建议用XPS看看。
2楼2014-05-19 14:55:41
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休眠火山

禁虫 (知名作家)

XRD&SEM qq2978260443


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先是要用测薄膜的特殊的XRD附件。如果没有这个东西是不行的。
3楼2014-05-19 21:35:41
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chyan1102

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
沉积的膜太薄,结晶性查的话是测不出来的
4楼2014-05-21 10:38:30
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