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ljlaser

铁虫 (初入文坛)


[求助] 急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 已有9人参与

急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢!
新手上路,哈哈
射频生长、NiO薄膜,想测出XRD:
3寸NiO靶材,在玻璃基板上,
首先,用120w,170w的RF,通Ar:O2 为15,15sccm,沉积1小时,虽然靶材中间出现了裂纹,但生长的膜,还是太薄,或者结晶差,测不出XRD。
然后,用100w的RF,通Ar:O2 为50,50sccm,沉积1小时,还是测不出XRD的峰。

到底该怎么做呢?

多谢!
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剑雨逸

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这靶 出裂纹了 你这靶 厚度还剩多少啊 一般 离子刻蚀 位置 比较薄 用的时间比较长 才会出现裂纹 当然靶和后面的板接触不良时 靶材啪啪打火 尤其电压电流 比较大时也容易造成靶裂 这种情况要小心 容易烧坏电源 还要注意靶面溅射是否正常. 关于薄膜的 xrd 楼主注意 非晶态膜 就不好测了 还有测薄膜你得用小角掠射 不能用常规的角度

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2014-05-22 08:29:43
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查看全部 17 个回答

刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用XRD是不好测的,本来就是薄膜,趁机上去的结晶度低。建议用XPS看看。
2楼2014-05-19 14:55:41
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休眠火山

禁虫 (知名作家)

XRD&SEM qq2978260443


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先是要用测薄膜的特殊的XRD附件。如果没有这个东西是不行的。
3楼2014-05-19 21:35:41
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chyan1102

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
沉积的膜太薄,结晶性查的话是测不出来的
4楼2014-05-21 10:38:30
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