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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
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liuxiaoyucrd

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！

磁控溅射镀铝，基底上的铝膜不是正常的金属铝的颜色，靶材拿出来后变成下图这样，中间和边缘部分发黑，溅射环内像结晶状的东西，不平整。溅射过程中没有通氧气，请问一下有经验的童鞋，这个是怎么回事呢？

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1楼2012-09-13 20:01:28
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我用过的AL靶也是这个样子，应该没关系，如果还可以起弧

实在不行，你可以拿去抛光一下
把表面的那层黑色的氧化物抛光掉。
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2楼2012-09-14 08:51:40
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
感觉有点像靶中毒。以前用过Ag靶会变黑，但没像你这样出现中心结晶
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3楼2012-09-14 09:27:56
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谢志滨

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
铝把很容易被氧化的，特别是在你镀完膜之后，把电极温度很高直接暴露在空气中就被氧化了，建议你在镀完膜之后也抽真空放置。真空度不用太低。
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4楼2012-09-14 10:19:21
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你去测一下EDX或者mapping看看是什么物质，也有可能是碳化和氧化共同作用的结果。
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5楼2012-09-14 13:51:10
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

你设备的真空度有问题，或是您通入的气体不纯，从靶的表面看，是很明显的Al靶表面氧化，就是常说的中毒。这也和靶的本身纯度晶型有关。
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6楼2012-09-17 13:39:48
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逆流成河126

新虫 (小有名气)
请问一下，铝靶溅射到基地的压力是多少

发自小木虫Android客户端
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7楼2019-05-16 22:06:32
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