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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 急急急！！磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊？
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云海笑漾

新虫 (初入文坛)

[交流] 急急急！！磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊？

各位大神
磁控溅射在硬质合金表面镀膜 试样是长方形片 为什么试样中间能镀上膜 但是边界上镀不上去膜？
这跟哪个参数有关呢    有经验的大家交流一下  谢谢喽\(^o^)/~
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1楼2014-03-05 23:40:16
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wu2140

银虫 (初入文坛)
★
云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
试一试减小靶基距，增大溅射气压。

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-03-06 00:01:27
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maya5428

铜虫 (小有名气)
★
云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu2140 at 2014-03-06 00:01:27
试一试减小靶基距，增大溅射气压。

减小距离 那所渡膜的面积会更小吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2014-03-07 15:54:41
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wu2140

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by maya5428 at 2014-03-07 15:54:41
减小距离 那所渡膜的面积会更小吧
...

减小靶基距是为了提高均匀性，如果衬底面积不是太大的话。

[ 发自小木虫客户端 ]
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6楼2014-03-07 22:00:39
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道实际设备情况，镀的什么膜，镀不上是，没膜还是膜薄，还是掉膜，还是颜色不一致，只能猜测可能原因：1、合金表面需要清洗，烘干；2、不知道你实际情况真不好判断。
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9楼2014-03-13 10:19:25
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迫不得已

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这得看你靶材和基体的相对位置与距离啦！磁控溅射的等离子体区域是有限的，所以应适当控制二者的距离，最好基体能放置在转架上，这样会均匀点；条件可以的话，同时开几个相同靶。
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10楼2014-03-13 21:16:08
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syhorchid3楼
2014-03-06 00:04   回复  
云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
ohcesc4楼
2014-03-06 02:25   回复  
云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
12
三个小青虫7楼
2014-03-08 08:39   回复  
云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
云海笑漾8楼
2014-03-12 21:23   回复  
引用回帖:
6楼: Originally posted by wu2140 at 2014-03-07 22:00:39 减小靶基距是为了提高均匀性，如果衬底面积不是太大的话。 ...

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