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急急急!!磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊?
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云海笑漾
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[交流]
急急急!!磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊?
各位大神
磁控溅射在硬质合金表面镀膜 试样是长方形片 为什么试样中间能镀上膜 但是边界上镀不上去膜?
这跟哪个参数有关呢 有经验的大家交流一下 谢谢喽\(^o^)/~
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云海笑漾
8楼
2014-03-12 21:23
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6楼
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Originally posted by
wu2140
at 2014-03-07 22:00:39 减小靶基距是为了提高均匀性,如果衬底面积不是太大的话。 ...
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