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云海笑漾

新虫 (初入文坛)


[交流] 急急急!!磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊?

各位大神
磁控溅射在硬质合金表面镀膜 试样是长方形片 为什么试样中间能镀上膜 但是边界上镀不上去膜?
这跟哪个参数有关呢    有经验的大家交流一下  谢谢喽\(^o^)/~
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2014-03-12 21:23   回复  
引用回帖:
6楼: Originally posted by wu2140 at 2014-03-07 22:00:39 减小靶基距是为了提高均匀性,如果衬底面积不是太大的话。 ...

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