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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与

现在磁控溅射镀膜遇到一个问题，做氮化钛，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，软软的，曾经检测过含氧，但处理了可能的问题之后还是没有什么变化，真空貌似没问题，用检漏仪检过的，运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题，现在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指点一二，非常感谢！
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磁控溅射靶材资料大全 Target and film 薄膜材料和器件制备

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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
1楼 2013-06-07 17:10:42
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-09 10:24:25
多谢啦  黑色东西挺多  而且很长时间  不见减少，应该是持续生成，刚换气体没反应，应该不是来自气体。用的是扩散泵。...

用扩散泵做磁控溅射？
估计是扩散泵油挥发到腔体内，被碳化了吧？

有用扩散泵做磁控溅射的？
我第一次听说，我一直用分子泵的。
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12楼2013-06-12 11:17:05
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-15 21:10:51
谁知道   他们选的泵  我以前见也是用分子泵 我摸了摸 泵上半部分是凉的  不热啊  只是下面貌似热的连标签纸都要掉了,泵外面颜色都有点发灰了  失去金属光泽了 像是被污染...

冷不冷和挥发不挥发没什么关系
有可能是扩散泵油分子跑到腔内了
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14楼2013-06-15 23:05:31
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普通回帖

love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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fbqrdzs: 金币+3, 有帮助。 2013-06-08 08:08:31
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！
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你若安好便是晴天！
2楼2013-06-07 22:16:19
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-07 22:16:19
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！

黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
3楼2013-06-08 08:00:19
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-09 16:28:01
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-08 14:37:28
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fuyadong01 at 2013-06-08 14:37:28
黑色物质多吗？
首先检查靶材纯度和气体纯度；
另外如果真空泵的油质量不好的话，会向真空腔室挥发，建议保养真空泵，且要消除漏油隐患。
祝好！

多谢啦  黑色东西挺多  而且很长时间  不见减少，应该是持续生成，刚换气体没反应，应该不是来自气体。用的是扩散泵。
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
5楼2013-06-09 09:24:25
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天之蓝心

木虫 (正式写手)

五月散人

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-10 12:39:40
看来是你的靶材有问题。
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他大舅他二舅都是他舅
6楼2013-06-09 12:13:34
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love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
fbqrdzs: 金币+1, 有帮助。 2013-06-09 16:28:19
fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 有帮助。 2013-06-10 12:39:59
你用的是油扩散泵吧  有可能是扩散泵密封有问题，黑色物质EDS分析含氧，认为是油被分解的缘故！
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你若安好便是晴天！
7楼2013-06-09 13:47:26
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2013-06-09 16:40:52
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-09 13:47:26
你用的是油扩散泵吧  有可能是扩散泵密封有问题，黑色物质EDS分析含氧，认为是油被分解的缘故！

谢谢啦   那其中的C呢?
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
9楼2013-06-12 10:34:29
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by fuyadong01 at 2013-06-09 16:40:52
美女估计要修泵了。...

真的?你也认为泵有问题,我不理解的是C呢?
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
10楼2013-06-12 10:35:11
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