6楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-06-09 12:13:34
看来是你的靶材有问题。

5楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-09 10:24:25
多谢啦  黑色东西挺多  而且很长时间  不见减少，应该是持续生成，刚换气体没反应，应该不是来自气体。用的是扩散泵。...

12楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-12 11:17:05
用扩散泵做磁控溅射？
估计是扩散泵油挥发到腔体内，被碳化了吧？

有用扩散泵做磁控溅射的？
我第一次听说，我一直用分子泵的。...

13楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-15 21:10:51
谁知道   他们选的泵  我以前见也是用分子泵 我摸了摸 泵上半部分是凉的  不热啊  只是下面貌似热的连标签纸都要掉了,泵外面颜色都有点发灰了  失去金属光泽了 像是被污染...

14楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-15 23:05:31
冷不冷和挥发不挥发没什么关系
有可能是扩散泵油分子跑到腔内了...

15楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-16 09:19:36
下来准备先查查磁流体,昨天发现那里出了点问题。先再次检漏再说。这个扩散泵功率大，之前气路漏气都不影响真空。...

16楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-16 20:45:52
磁流体？
在什么地方？...

3楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-08 08:00:19
黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)...