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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-06-09 12:13:34
看来是你的靶材有问题。

欧莱的靶材  质量也不靠谱?
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
11楼2013-06-12 10:35:58
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-09 10:24:25
多谢啦  黑色东西挺多  而且很长时间  不见减少，应该是持续生成，刚换气体没反应，应该不是来自气体。用的是扩散泵。...

用扩散泵做磁控溅射？
估计是扩散泵油挥发到腔体内，被碳化了吧？

有用扩散泵做磁控溅射的？
我第一次听说，我一直用分子泵的。
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12楼2013-06-12 11:17:05
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-12 11:17:05
用扩散泵做磁控溅射？
估计是扩散泵油挥发到腔体内，被碳化了吧？

有用扩散泵做磁控溅射的？
我第一次听说，我一直用分子泵的。...

谁知道   他们选的泵  我以前见也是用分子泵 我摸了摸 泵上半部分是凉的  不热啊  只是下面貌似热的连标签纸都要掉了,泵外面颜色都有点发灰了  失去金属光泽了 像是被污染
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
13楼2013-06-15 20:10:51
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-15 21:10:51
谁知道   他们选的泵  我以前见也是用分子泵 我摸了摸 泵上半部分是凉的  不热啊  只是下面貌似热的连标签纸都要掉了,泵外面颜色都有点发灰了  失去金属光泽了 像是被污染...

冷不冷和挥发不挥发没什么关系
有可能是扩散泵油分子跑到腔内了
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14楼2013-06-15 23:05:31
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-15 23:05:31
冷不冷和挥发不挥发没什么关系
有可能是扩散泵油分子跑到腔内了...

下来准备先查查磁流体,昨天发现那里出了点问题。先再次检漏再说。这个扩散泵功率大，之前气路漏气都不影响真空。
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
15楼2013-06-16 08:19:36
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
15楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-16 09:19:36
下来准备先查查磁流体,昨天发现那里出了点问题。先再次检漏再说。这个扩散泵功率大，之前气路漏气都不影响真空。...

磁流体？
在什么地方？
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16楼2013-06-16 20:45:52
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-16 20:45:52
磁流体？
在什么地方？...

就在腔体下面,有个传动轴,腔体内工件架是旋转的.貌似扩散泵的功率是有点过大的,真空不存在问题,但还是有杂质.
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
17楼2013-06-17 08:07:09
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
搞清楚那粉末是怎么回事了吗？是不是偏黄色的TiN粉末呢，由于在其他地方结合力不好，从而脱落到到整个腔体呢?
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
18楼2014-08-25 17:38:37
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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

C肯定也是从油里面来的吧，有机物肯定有C的吧
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19楼2014-08-25 22:38:47
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小p子

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-08 08:00:19
黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)...

貌似做eds都会有氧吧
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20楼2014-12-05 14:22:34
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